高周波電源装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-108506
公開番号（公開出願番号）：特開2014-209420
特許番号：特許第6282806号
出願日： 2013年05月23日
公開日（公表日）： 2014年11月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】負荷に向けて進行波電力を出力する高周波電源装置において、直流電源、増幅素子及び発振部を内部に有し、前記発振部から出力する高周波信号を、前記直流電源から出力される直流電力を用いて前記増幅素子によって増幅し、進行波電力として出力する進行波電力出力手段と、前記進行波電力出力手段と負荷との間に挿入されて、その挿入された位置における電気情報を検出する電気情報検出手段と、前記電気情報検出手段で検出された検出信号に基づいて、進行波電力検出値及び反射波電力検出値のうち、少なくとも進行波電力検出値を演算する電力値演算手段と、前記電気情報検出手段の出力に基づいて求まる反射係数又は負荷側インピーダンスを負荷状態情報とし、且つ前記負荷状態情報によって異なる前記進行波電力出力手段から出力可能な進行波電力値を出力可能電力値として定義したときに、前記負荷状態情報と前記出力可能電力値との対応関係を示す情報を予め記憶しておくとともに、前記対応関係を示す情報の中から、現時点の負荷状態情報に対応する出力可能電力値を現時点の出力可能電力値として出力する出力可能電力値設定手段と、前記進行波電力出力手段から出力させる進行波電力の第1の出力設定値を設定する第1の出力設定手段と、前記第1の出力設定値と前記現時点の出力可能電力値とを比較して、前記第1の出力設定値が前記現時点の出力可能電力値以下の場合は、前記第1の出力設定値を第2の出力設定値として出力し、前記第1の出力設定値が前記現時点の出力可能電力値よりも大きい場合は、前記現時点の出力可能電力値を第2の出力設定値として出力する第2の出力設定手段と、前記進行波電力検出値が前記第2の出力設定値と等しくなるように前記進行波電力出力手段を制御する出力電力制御手段と、を備えた高周波電源装置。

IPC (7件)：

H05H 1/46 ( 200 6.01) , H03F 3/20 ( 200 6.01) , H03F 3/189 ( 200 6.01) , H03F 1/52 ( 200 6.01) , H01L 21/3065 ( 200 6.01) , C23C 16/52 ( 200 6.01) , H02M 9/06 ( 200 6.01)

FI (7件)：

H05H 1/46 R , H03F 3/20 , H03F 3/189 , H03F 1/52 Z , H01L 21/302 101 G , C23C 16/52 , H02M 9/06

引用特許：

出願人引用 (6件)

高周波電源装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-094107 出願人：株式会社ダイヘン
プラズマ処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-265398 出願人：キヤノンアネルバ株式会社
高周波電源装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-008089 出願人：株式会社ダイヘン

全件表示

審査官引用 (6件)

高周波電源装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-094107 出願人：株式会社ダイヘン
プラズマ処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-265398 出願人：キヤノンアネルバ株式会社
高周波電源装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-008089 出願人：株式会社ダイヘン

全件表示

前のページに戻る