特許
J-GLOBAL ID：201803001605919644

紫外線LED用石英ガラス部材の製造方法

発明者：
佐藤 彰

佐藤 彰 について

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藤ノ木 朗

藤ノ木 朗 について

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西村 裕幸

西村 裕幸 について

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横澤 裕也

横澤 裕也 について

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森 竜也

森 竜也 について


出願人/特許権者：
信越石英株式会社

信越石英株式会社 について


代理人 (2件)： 石原 進介 ,  石原 詔二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-131887
公開番号（公開出願番号）：特開2018-002548
出願日： 2016年07月01日
公開日（公表日）： 2018年01月11日
要約：
【課題】酸素欠乏欠陥の修復を行い、波長約250nmの光吸収が改善され、波長200nmから400nmにおいて構造欠陥による吸収のない紫外線LED用石英ガラス部材の製造方法を提供する。【解決手段】シリカ粉とバインダー成分を混合し、成形して所定形状の成形体を得る成形工程、前記成形体を各種ガスにより加熱処理を行う熱処理工程、及び前記熱処理工程後、熱処理された成形体を透明ガラス化するガラス化工程、を含む紫外線LED用石英ガラス部材の製造方法であって、前記熱処理工程が、酸素を含む雰囲気による1,000°C以下での有機物の脱脂工程、前記脱脂工程後、塩化水素を含む雰囲気による1,200°C以下での金属不純物の純化工程、及び前記純化工程後、酸化性雰囲気による1,150°C以下での波長約250nmの酸素欠乏欠陥の修復を促す工程、であるようにした。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
シリカ粉とバインダー成分を混合し、成形して所定形状の成形体を得る成形工程、 前記成形体を各種ガスにより加熱処理を行う熱処理工程、及び 前記熱処理工程後、熱処理された成形体を透明ガラス化するガラス化工程、 を含む紫外線LED用石英ガラス部材の製造方法であって、 前記熱処理工程が、 酸素を含む雰囲気による1,000°C以下での有機物の脱脂工程、 前記脱脂工程後、塩化水素を含む雰囲気による1,200°C以下での金属不純物の純化工程、及び 前記純化工程後、酸化性雰囲気による1,150°C以下での波長約250nmの酸素欠乏欠陥の修復を促す工程、 である、紫外線LED用石英ガラス部材の製造方法。
IPC (3件)：
C03B 20/00 ,  H01L 33/58 ,  C03C 3/06
FI (3件)：
C03B20/00 B ,  H01L33/58 ,  C03C3/06
Fターム (63件)：
4G014AH21 ,  4G062AA04 ,  4G062BB02 ,  4G062DA08 ,  4G062DB01 ,  4G062DB02 ,  4G062DC01 ,  4G062DD01 ,  4G062DE01 ,  4G062DF01 ,  4G062EA01 ,  4G062EA10 ,  4G062EB01 ,  4G062EC01 ,  4G062ED01 ,  4G062EE01 ,  4G062EF01 ,  4G062EG01 ,  4G062FA01 ,  4G062FA10 ,  4G062FB01 ,  4G062FC01 ,  4G062FD01 ,  4G062FE01 ,  4G062FF01 ,  4G062FG01 ,  4G062FH01 ,  4G062FJ01 ,  4G062FK01 ,  4G062FL01 ,  4G062GA01 ,  4G062GA10 ,  4G062GB01 ,  4G062GC01 ,  4G062GD01 ,  4G062GE01 ,  4G062HH01 ,  4G062HH03 ,  4G062HH05 ,  4G062HH07 ,  4G062HH09 ,  4G062HH11 ,  4G062HH13 ,  4G062HH15 ,  4G062HH17 ,  4G062HH20 ,  4G062JJ01 ,  4G062JJ03 ,  4G062JJ05 ,  4G062JJ07 ,  4G062JJ10 ,  4G062KK01 ,  4G062KK03 ,  4G062KK05 ,  4G062KK07 ,  4G062KK10 ,  4G062MM02 ,  4G062MM24 ,  4G062NN16 ,  5F142AA03 ,  5F142DB02 ,  5F142DB12 ,  5F142GA31
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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