特許

J-GLOBAL ID：201803001655495926

切削装置

発明者： 植山 博光
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (5件)： 青木 宏義 ,  天田 昌行 ,  岡田 喜雅 ,  菅野 亨 ,  溝口 勉
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-004261
公開番号（公開出願番号）：特開2014-136261
特許番号：特許第6271129号
出願日： 2013年01月15日
公開日（公表日）： 2014年07月28日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切れ刃を外周に備えた切削ブレードがY方向に回転軸を有するスピンドルに回転可能に装着された切削手段と、該スピンドルを収容するスピンドルハウジングに装着されたホイールカバーと、該ホイールカバーに切削ブレードの厚み方向であるY方向に調整可能に取り付けられ且つ該切削ブレードの外周方向から該切削ブレードに向かって切削水を供給する供給孔を有する切削水ブロックとを備えた切削装置であって、 該切削水ブロックは、 該供給孔に連通しY方向に直交する方向に延びる供給路と、該切削水ブロックの側面に作業者が該切削ブレードを直接視認しながら該切削水ブロックの位置を調整可能な内径で形成された目視孔と、該Y方向と直交し該供給路と交差すると共に該切削水ブロックの該目視孔から該切削ブレードに向かって斜めに貫通して形成された目視路と、を備え、 該切削水ブロックをY方向に移動して該目視孔を該切削ブレードの切れ刃で2等分するように位置決めすると該供給孔が該切削ブレードで2等分される位置に位置決めされることを特徴とする切削装置。

IPC (3件)：

B24B 55/02 ( 200 6.01) ,  H01L 21/301 ( 200 6.01) ,  B23Q 11/10 ( 200 6.01)

FI (3件)：

B24B 55/02 D ,  H01L 21/78 F ,  B23Q 11/10 B

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 切削装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-094171   出願人：株式会社ディスコ