特許
J-GLOBAL ID：200903071106122717

切削装置

発明者：
山本 直子

山本 直子 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-094171
公開番号（公開出願番号）：特開2007-273527
出願日： 2006年03月30日
公開日（公表日）： 2007年10月18日
要約：
【課題】切削ブレードの切刃外周部に対する切削水噴射ノズル手段の噴射ノズルの位置調整を作業性よく高精度に行うことができるようにする。【解決手段】切削水噴射ノズル手段40の噴射ノズル41と切削ブレード21の切刃外周部21aとの相対的な位置関係を、撮像部46により撮像されて表示部47に表示された画像によって認識可能とし、作業者は、表示部47に表示された画像を見ながら噴射ノズル位置調整部48によって切削ブレード21の回転軸心方向の所要位置に噴射ノズル41を位置づけるように調整作業を行うことで、切削ブレード21の切刃外周部21aの中央部に噴射ノズル41の噴射口を正確に位置づけることができるようにした。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された前記被加工物を切削する切削手段と、を備える切削装置であって、 前記切削手段は、切削ブレードと、該切削ブレードを支持するマウントと、該マウントに連結されるスピンドルと、該スピンドルを回転可能に支持するハウジングと、該ハウジングに固定され前記切削ブレードを覆うブレードカバーと、該ブレードカバーに配設され前記切削ブレードの切刃外周部に切削水を供給する噴射ノズルを有する切削水噴射ノズル手段と、を備え、 前記切削水噴射ノズル手段は、 前記切削ブレードの前記切刃外周部を撮像する撮像部と、 該撮像部が撮像した画像を表示する表示部と、 前記切削ブレードの回転軸心方向の所要位置に前記噴射ノズルを位置づける噴射ノズル位置調整部と、 を備えることを特徴とする切削装置。
IPC (2件)：
H01L 21/301 ,  B23Q 11/10
FI (2件)：
H01L21/78 F ,  B23Q11/10 B
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (2件)

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