特許

J-GLOBAL ID：201803001853203701

レーザー加工方法

発明者： 益田 紀彰 ,  三浦 清貴 ,  下間 靖彦 ,  坂倉 政明
出願人/特許権者： 日本電気硝子株式会社 ,  国立大学法人京都大学
代理人 (3件)： 城村 邦彦 ,  熊野 剛 ,  友廣 真一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-206869
公開番号（公開出願番号）：特開2018-065188
出願日： 2016年10月21日
公開日（公表日）： 2018年04月26日
要約：

【課題】透明部材の熱変性領域やその周辺にひずみや割れが発生する原因となる、熱変性領域の周期的な構造の乱れを抑制し得るレーザー加工方法を提供する。【解決手段】超短パルスレーザー光を集光照射して透明部材の内部に熱変性領域を形成するレーザー加工方法である。超短パルスレーザー光は、ピーク強度が周期的に変化するパルス列P2から構成される。パルス列P2は、ピーク強度の変化の一周期Ts内に、ピーク強度が最大となる最大パルスPb1と、ピーク強度が最小となる最小パルスPb2と、最大パルスPb1と最小パルスPb2との間で、最大パルスPb1側から最小パルスPb2側に向かうに連れてピーク強度が漸次減少する複数のパルスからなる中間パルス群Pb3とを含む。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

超短パルスレーザー光を集光照射し、透明部材の内部の集光領域に熱変性領域を形成するレーザー加工方法であって、 前記超短パルスレーザー光は、ピーク強度が周期的に変化するとともに、そのピーク強度の変化の一周期内に存在するパルス列が、ピーク強度が最大となる最大パルスと、ピーク強度が最小となる最小パルスと、前記最大パルスと前記最小パルスとの間で、前記最大パルス側から前記最小パルス側に向かうに連れてピーク強度が漸次減少する複数のパルスからなる中間パルス群とを含むことを特徴とするレーザー加工方法。

IPC (4件)：

B23K 26/53 ,  B23K 26/00 ,  C03C 23/00 ,  C03B 23/203

FI (4件)：

B23K26/53 ,  B23K26/00 N ,  C03C23/00 D ,  C03B23/203

Fターム (8件)：

4E168AE01 ,  4E168DA33 ,  4E168DA46 ,  4E168DA47 ,  4E168JA14 ,  4G059AA01 ,  4G059AA08 ,  4G059AC08

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 接合体の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-238434   出願人：日本電気硝子株式会社, 国立大学法人大阪大学
• ガラスの3D形成
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2016-541161   出願人：コーニングインコーポレイテッド