多種イオン源

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：雨貝正彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-520195
特許番号：特許第6238978号
出願日： 2013年05月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】電子のビームを第1の光軸に沿って真空室内に供給する電子源と、多数のチャネルであり、前記多数のチャネルのうちの少なくとも1つのチャネルが、ガス入口を有し、前記電子と相互作用してイオンを生成するガスを含むように適合された多数のチャネルと、前記多数のチャネルのうちの異なるチャネルに入るように前記電子ビームを選択的に偏向させる第1の偏向器と、前記多数のチャネルからイオンを引き出す1つまたは複数の引出し電極と、引き出された前記イオンを前記第1の光軸と整列させる第2の偏向器とを備える荷電粒子ビーム・システム。

IPC (3件)：