特許
J-GLOBAL ID：201803002099808215
圧電素子、圧電アクチュエータおよび圧電素子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
福地 武雄
, 白川 洋一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-265919
公開番号（公開出願番号）：特開2015-122438
特許番号：特許第6323863号
出願日： 2013年12月24日
公開日（公表日）： 2015年07月02日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 圧電体層および内部電極層が交互に積層された圧電素子であって、
内部電極層および前記内部電極層により挟まれた圧電体層で形成され、前記内部電極層の積層方向への投影が重なる領域として形成された活性部と、
前記活性部の側面方向および端面方向の周囲に設けられ、圧電体層の焼結密度が前記活性部の圧電体層の焼結密度に対して94%以上97%以下の不活性部と、を備え、
前記内部電極層は、Pdに対するAgのモル比が0.8以上1.0以下であるAg/Pdからなり、前記活性部および不活性部の圧電体層は、PZTに対するPZNのモル比が0.1以上0.3以下であるPZT-PZN系材料からなることを特徴とする圧電素子。
IPC (4件)：
H01L 41/083 ( 200 6.01)
, H01L 41/187 ( 200 6.01)
, H01L 41/273 ( 201 3.01)
, H01L 41/09 ( 200 6.01)
H01L 41/083
, H01L 41/187
, H01L 41/273
, H01L 41/09
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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