特許

J-GLOBAL ID：201803002384623768

ガスパージユニット及びロードポート装置

発明者： 江本 淳 ,  岩本 忠将
出願人/特許権者： TDK株式会社
代理人 (1件)： 前田・鈴木国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-124307
公開番号（公開出願番号）：特開2017-228678
出願日： 2016年06月23日
公開日（公表日）： 2017年12月28日
要約：

【課題】密封搬送容器内への清浄化ガスの円滑な導入を実現し得るガスパージユニット等を提供する。【解決手段】 開口を有するパージ対象容器の内部に、前記開口を通して清浄化ガスを導入させるガスパージユニットであって、前記パージ対象容器の内部に向けて清浄化ガスを吹き出す第1ノズル口を有し、前記開口の側辺に沿って配置される第1吹き出し部材と、前記第1ノズル口より前記開口から遠い位置に配置され、前記パージ対象容器の内部に向けて清浄化ガスを吹き出す第2ノズル口を有し、前記側辺に沿って配置される第2吹き出し部材と、を有するガスパージユニット。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

開口を有するパージ対象容器の内部に、前記開口を通して清浄化ガスを導入させるガスパージユニットであって、 前記パージ対象容器の内部に向けて清浄化ガスを吹き出す第1ノズル口を有し、前記開口の側辺に沿って配置される第1吹き出し部材と、 前記第1ノズル口より前記開口から遠い位置に配置され、前記パージ対象容器の内部に向けて清浄化ガスを吹き出す第2ノズル口を有し、前記側辺に沿って配置される第2吹き出し部材と、 を有するガスパージユニット。

IPC (3件)：

H01L 21/677 ,  B08B 5/00 ,  H01L 21/304

FI (3件)：

H01L21/68 A ,  B08B5/00 Z ,  H01L21/304 648E

Fターム (33件)：

3B116AA26 ,  3B116AB42 ,  3B116BB23 ,  3B116BB32 ,  5F131AA02 ,  5F131BA03 ,  5F131BA19 ,  5F131CA12 ,  5F131DA32 ,  5F131DA33 ,  5F131DB51 ,  5F131FA02 ,  5F131FA14 ,  5F131GA12 ,  5F131GA14 ,  5F131GA76 ,  5F131GA88 ,  5F131GA92 ,  5F131HA01 ,  5F131HA29 ,  5F131JA04 ,  5F131JA07 ,  5F131JA08 ,  5F131JA16 ,  5F131JA24 ,  5F131JA28 ,  5F131JA32 ,  5F157BB23 ,  5F157BB32 ,  5F157BG13 ,  5F157BG14 ,  5F157CC21 ,  5F157DB55

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 半導体製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-061814   出願人：国際電気株式会社
• 基板処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-143106   出願人：大日本スクリーン製造株式会社