特許
J-GLOBAL ID:201803002390586246
表面加工樹脂フィルムの製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (5件):
棚井 澄雄
, 志賀 正武
, 松本 将尚
, 宮本 龍
, 飯田 雅人
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2017-119132
公開番号(公開出願番号):特開2017-226835
出願日: 2017年06月16日
公開日(公表日): 2017年12月28日
要約:
【課題】表面に高い規則性を有する微細構造を備えた表面加工樹脂フィルムの製造方法を提供する。【解決手段】本発明は、凹凸表面からなる複数の規則的な微細構造を備えた表面加工樹脂フィルム10の製造方法であって、微細構造間のピッチが1μm以下となるように、樹脂フィルムに対して、原子状水素を照射する工程を有することを特徴とする。好ましくは、前記工程において、原子状水素を照射することにより生じる樹脂フィルムの温度上昇、又はエッチングレートを制御する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
凹凸表面からなる複数の規則的な微細構造を備えた表面加工樹脂フィルムの製造方法であって、
前記微細構造間のピッチが1μm以下となるように、樹脂フィルムに対して、原子状水素を照射する工程を有することを特徴とする、表面加工樹脂フィルムの製造方法。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (26件):
4F070AA13
, 4F070AA15
, 4F070AA22
, 4F070AA32
, 4F070AA46
, 4F070BA10
, 4F070BB02
, 4F070HA03
, 4F070HB05
, 4F070HB14
, 4F070HB15
, 4F209AA04
, 4F209AA11
, 4F209AA15
, 4F209AA21
, 4F209AA39
, 4F209AC03
, 4F209AF01
, 4F209AG01
, 4F209AG05
, 4F209AR06
, 4F209PA14
, 4F209PB01
, 4F209PC03
, 4F209PC05
, 4F209PN04
引用特許:
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