アークを処理する装置およびアークを処理する方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：アインゼル・フェリックス=ラインハルト , 森田拓 , 前川純一 , 二宮浩康 , 上島類
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-541035
公開番号（公開出願番号）：特表2018-504760
出願日： 2016年01月26日
公開日（公表日）： 2018年02月15日
要約：

アーク処理装置(14)は、a.プラズマチャンバ(30)内に存在しているアークを検出する、アーク検出装置(21)と、b.アークがプラズマチャンバ(30)内に存在している間に、プラズマチャンバ(30)に供給されたエネルギに対応する値であるアークエネルギ値を求める、アークエネルギ確定装置(22)と、c.求められたアークエネルギ値から中断時間を決定する中断時間決定装置(24)と、を備えている。

請求項（抜粋）：

アーク処理装置(14)において、 a.プラズマチャンバ(30)内に存在しているアークを検出する、アーク検出装置(21)と、 b.前記アークが前記プラズマチャンバ(30)内に存在している間に、前記プラズマチャンバ(30)に供給されたエネルギに対応する値であるアークエネルギ値を求める、アークエネルギ確定装置(22)と、 c)求められた前記アークエネルギ値から中断時間(4)を決定する中断時間決定装置(24)と、を備える、アーク処理装置(14)。

IPC (1件)：

H05H 1/00

FI (1件)：

H05H1/00 A

Fターム (10件)：

2G084AA05 , 2G084BB12 , 2G084HH21 , 2G084HH22 , 2G084HH28 , 2G084HH33 , 2G084HH34 , 2G084HH42 , 2G084HH56 , 2G084HH57

引用特許：

審査官引用 (4件)

プラズマプロセスの動作の際のアーク放電の抑制のための方法及びプラズマプロセスに対するアーク放電識別装置及びプラズマプロセスの電力供給のための電力源を有するプラズマ電力供給装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-057910 出願人：ヒュッティンガーエレクトローニクゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツングウントコンパニーコマンディートゲゼルシャフト
ウェーハレベルアーク検出のための装置と方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2011-514738 出願人：シュナイダーエレクトリックユーエスエイインコーポレイテッド
アーク放電抑止装置および方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-218545 出願人：日本リライアンス株式会社

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