物理・化学センサおよび特定物質の測定方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：井川浩文 , 森岡正往 , 特許業務法人SANSUI国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-242093
公開番号（公開出願番号）：特開2015-102387
特許番号：特許第6284076号
出願日： 2013年11月22日
公開日（公表日）： 2015年06月04日
請求項（抜粋）：

【請求項1】受光素子の受光面の表面との間で中空部を形成するように設けられたダイヤフラム構造の可動膜と、この可動膜の表側または裏側の表面に配置され、該可動膜を励振する第1の圧電膜と、前記可動膜の表側または裏側の表面に配置され、該可動膜の振動により発生する電圧を検出する第2の圧電膜とを備え、前記可動膜は、少なくとも外側表面に物質固定能を有するとともに、前記受光面の表面とでファブリペロー共振器を形成するものであることを特徴とする物理・化学センサ。

IPC (1件)：