特許
J-GLOBAL ID：201303006831923594
微小機械振動子および微小機械振動子の制御方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
山川 政樹
, 山川 茂樹
, 小池 勇三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-214208
公開番号（公開出願番号）：特開2013-074594
出願日： 2011年09月29日
公開日（公表日）： 2013年04月22日
要約：
【課題】振動の減衰時間を減少させ、機械振動子の動作を高速化する。【解決手段】微小機械振動子は、基板(104)上に形成された2つの支持部(113,114)と、2つの異なる振動モードを有する両持ち梁部(108)と、両持ち梁部を第1の振動モードで励振する励振手段となる交流電源(411)と、両持ち梁部を第1の振動モードおよび第2の振動モードが混合した状態で振動させる混合手段となる交流電源(413)と、両持ち梁部を第1の振動モードで励振する状態から、第1の振動モードおよび第2の振動モードが混合した状態に切り換える切換手段となるスイッチ(412,414)とを備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板上に形成された支持部と、
端が前記支持部で固定されることによって前記基板から浮いた状態で支持され、2つ以上の異なる振動モードを有する振動部と、
この振動部を第1の振動モードで励振する励振手段と、
前記振動部を前記第1の振動モードおよび第2の振動モードが混合した状態で振動させる混合手段と、
前記振動部を前記第1の振動モードで励振する状態から、前記第1の振動モードおよび前記第2の振動モードが混合した状態に切り換える切換手段とを備え、
前記励振手段は、前記第1の振動モードの固有振動数と等しい周波数の第1の信号により前記振動部を励振し、
前記混合手段は、前記第1の振動モードの固有振動数と前記第2の振動モードの固有振動数との差あるいは和に等しい周波数の第2の信号により、前記振動部を前記第1の振動モードおよび前記第2の振動モードが混合した状態で振動させることを特徴とする微小機械振動子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (18件)：
3C081BA43
, 3C081BA44
, 3C081BA45
, 3C081BA48
, 3C081BA53
, 3C081BA54
, 3C081BA55
, 3C081BA57
, 3C081EA01
, 3C081EA22
, 5J108AA09
, 5J108BB08
, 5J108CC04
, 5J108CC11
, 5J108EE03
, 5J108EE07
, 5J108EE13
, 5J108JJ04
