特許
J-GLOBAL ID：201803003076757598

弾性表面波フィルタ

発明者：
中井 康晴

中井 康晴 について


出願人/特許権者：
株式会社村田製作所

株式会社村田製作所 について


代理人 (1件)： 特許業務法人 楓国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-122480
公開番号（公開出願番号）：特開2017-228882
出願日： 2016年06月21日
公開日（公表日）： 2017年12月28日
要約：
【課題】1つの圧電基板に周波数特性の異なる複数の共振子を形成しても、それぞれの共振子特性を安定させ、高い信頼性を実現する。【解決手段】弾性表面波フィルタ10は、圧電基板20、共振子電極31、共振子電極32、および、保護膜40を備える。圧電基板20は、表面201に凹部21が設けられている。共振子電極31は、凹部21の底面に形成されている。共振子電極32は、圧電基板20の表面201における凹部21と異なる領域に形成されている。保護膜40は、圧電基板20の表面201に形成され、共振子電極31および共振子電極32を覆っている。保護膜40における圧電基板20の表面201に当接する面と反対側の天面401は平坦である。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
表面に凹部が設けられた圧電基板と、 前記凹部の底面に形成された第1の共振子電極と、 前記圧電基板の前記表面における前記凹部と異なる領域に形成された第2の共振子電極と、 前記圧電基板の前記表面に形成され、前記第1の共振子電極および前記第2の共振子電極を覆い、前記圧電基板の前記表面に当接する面と反対側の天面が平坦な第1の保護膜と、 を備える、弾性表面波フィルタ。
IPC (3件)：
H03H 9/25 ,  H03H 9/145 ,  H03H 9/64
FI (3件)：
H03H9/25 Z ,  H03H9/145 C ,  H03H9/64 Z
Fターム (7件)：
5J097AA25 ,  5J097BB11 ,  5J097CC05 ,  5J097DD29 ,  5J097EE01 ,  5J097FF05 ,  5J097KK09
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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