弾性波デバイス及びその製法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人アイテック国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-181443
公開番号（公開出願番号）：特開2015-050653
特許番号：特許第6247054号
出願日： 2013年09月02日
公開日（公表日）： 2015年03月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】圧電基板と支持基板とを貼り合わせた弾性波デバイス用複合基板と、前記圧電基板の表面に形成され、弾性波の伝搬方向と直交する電極指を有するIDT電極と、を備えた弾性波デバイスであって、前記圧電基板は、スプリアス発生抑制うねりを有し、前記スプリアス発生抑制うねりは、うねりの曲線要素の平均長さWSmが前記IDT電極の電極指の配置周期の20〜250倍であり、うねりの最大高さWzが前記IDT電極の電極指の配置周期の0.2〜1.5倍である、弾性波デバイス。

IPC (2件)：