特許
J-GLOBAL ID：201803003821411020
真空成膜装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
吉井 剛
, 吉井 雅栄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-136249
公開番号（公開出願番号）：特開2018-003141
出願日： 2016年07月08日
公開日（公表日）： 2018年01月11日
要約：
【課題】簡易な構成で真空槽の槽壁の歪みに起因する基板とマスクとの位置ずれを抑制できる真空成膜装置の提供。【解決手段】真空槽1と、この真空槽1内に設けられる基板支持体3及びマスク支持体5と、真空槽1外に設けられ基板支持体3に支持された基板2とマスク支持体5に支持されたマスク4との相対位置を調整するためのアライメント機構6とを備えた真空成膜装置であって、基板支持体3が接続されたアライメント機構6が設けられ真空槽1の槽壁外面に当接固定される第1の固定部材7と、マスク支持体5が設けられ真空槽1の槽壁内面に当接固定される第2の固定部材8とを有し、第1の固定部材7の槽壁外面との当接端部9と、第2の固定部材8の槽壁内面との当接端部10とを、槽壁を挟んで対向位置に設ける。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
真空槽と、この真空槽内に設けられる基板を支持する基板支持体及びマスクを支持するマスク支持体と、前記真空槽外に設けられ前記基板支持体に支持された基板と前記マスク支持体に支持されたマスクとの相対位置を調整するためのアライメント機構とを備えた真空成膜装置であって、前記基板支持体が接続された前記アライメント機構が設けられ前記真空槽の槽壁外面に当接固定される第1の固定部材と、前記マスク支持体が設けられ前記真空槽の槽壁内面に当接固定される第2の固定部材とを有し、前記第1の固定部材の前記槽壁外面との当接端部と、前記第2の固定部材の前記槽壁内面との当接端部とが、前記槽壁を挟んで対向位置に設けられていることを特徴とする真空成膜装置。
IPC (3件)：
C23C 14/04
, C23C 14/50
, H01L 21/683
C23C14/04 A
, C23C14/50 F
, H01L21/68 N
4K029CA01
, 4K029DA01
, 4K029DA03
, 4K029DB17
, 4K029HA04
, 4K029JA00
, 5F131AA12
, 5F131BA01
, 5F131CA18
, 5F131CA37
, 5F131EA15
, 5F131EA22
, 5F131EB57
, 5F131EB63
