気体センサ

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：新居広守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-016307
公開番号（公開出願番号）：特開2018-124170
出願日： 2017年01月31日
公開日（公表日）： 2018年08月09日
要約：

【課題】消費電力が小さく、かつ、高速に水素原子を含むガスを検知することが可能な気体センサを提供する。【解決手段】気体センサ100は、基板101の上方に形成され、金属酸化物層で構成される気体感応体層103と、気体感応体層103の上に形成された第1の電極104と、気体感応体層103の上に、第1の電極104との間に間隙106を有するように形成された第2の電極105と、を備え、気体感応体層103は、第1の電極104と第2の電極105との間に印加される電圧に基づいて、可逆的に高抵抗状態と低抵抗状態とに遷移する抵抗変化特性を有し、間隙106において、気体感応体層103の少なくとも一部は露出しており、気体感応体層103の抵抗値は、水素原子を含有する気体が第2の電極105に接したときに減少する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板の上方に形成され、金属酸化物層で構成される気体感応体層と、前記気体感応体層と同層の前記基板の上方または前記気体感応体層の上に形成された第1の電極と、前記気体感応体層と同層の前記基板の上方または前記気体感応体層の上に、前記第1の電極との間に間隙を有するように形成された第2の電極と、を備え、前記気体感応体層は、前記第1の電極と前記第2の電極との間に印加される電圧に基づいて、可逆的に高抵抗状態と低抵抗状態とに遷移する抵抗変化特性を有し、前記間隙において、前記気体感応体層の少なくとも一部は露出しており、前記気体感応体層の抵抗値は、水素原子を含有する気体が前記第2の電極に接したときに減少する、気体センサ。

IPC (4件)：

G01N 27/12 , G01N 27/04 , H01M 8/00 , H01M 8/04

FI (7件)：

G01N27/12 B , G01N27/04 F , G01N27/04 L , H01M8/00 Z , H01M8/04 J , H01M8/04 Z , H01M8/04 H

Fターム (33件)：

2G046AA05 , 2G046AA19 , 2G046AA24 , 2G046BA01 , 2G046BA09 , 2G046BB02 , 2G046BC05 , 2G046FB02 , 2G046FE14 , 2G046FE16 , 2G046FE29 , 2G046FE31 , 2G046FE41 , 2G046FE49 , 2G060AA02 , 2G060AB03 , 2G060AE19 , 2G060AF07 , 2G060AG11 , 2G060BB09 , 2G060BB18 , 2G060HC09 , 2G060HC10 , 2G060JA01 , 2G060KA01 , 5H127AB04 , 5H127AC02 , 5H127AC15 , 5H127BA22 , 5H127BB02 , 5H127DB96 , 5H127EE04 , 5H127EE27

引用特許：

審査官引用 (2件)

ガス濃度計測装置及び交換通知方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2013-258283 出願人：株式会社タニタ
水素ガスセンサの信号処理方法、及び信号処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2011-208805 出願人：グンゼ株式会社

引用文献：

審査官引用 (1件)

"Selective filter for SnO2-based gas sensor: application to hydrogen trace detection"

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