特許
J-GLOBAL ID：201803004704060522

測定セル構成を用いて真空圧を測定するための方法および装置

発明者：
ムリス,フェリックス

ムリス,フェリックス について

, 
ビュスト,マルティン

ビュスト,マルティン について


出願人/特許権者：
インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング

インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング について


代理人 (1件)： 特許業務法人深見特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-548309
特許番号：特許第6253662号
出願日： 2013年11月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 圧力トランスデューサとしてのダイヤフラム(2)を用いて真空を測定するための容量性ダイヤフラム圧力測定セル(20)を備える測定セル構成(100)を用いた真空圧測定のための方法であって、第1の筐体本体(1)は、参照真空空間(25)が間に形成されるように、ダイヤフラムに対して離間されるダイヤフラム(2)の一方側に配置され、接合手段(3′)によって端縁領域で封止し、ダイヤフラムに対して離間されるダイヤフラム(2)の他方側に、測定真空空間(26)が間に形成されるように別の筐体本体(4)が配置されて、接合手段(3)によって端縁領域で封止し、第2の筐体本体(4)は開口(27)を備え、開口に接続手段(5)が配置されて、測定すべき媒体との測定真空空間(26)の連通接続のために接合手段によって封止し、参照真空空間(25)の内部で、少なくともダイヤフラム(2)の表面の少なくとも一部と反対に位置する少なくとも第1の筐体本体(1)の表面の少なくとも一部とが、電気キャパシタンス(Cx)の形成のために、導電性のキャパシタ電極(7,7′)を形成し、測定セル構成(100)は、電子部品(12,14,Rref,Cref)を装備したプリント回路基板(10)を備え、前記電子部品の少なくとも1つは温度センサとして働き、プリント回路基板(10)はダイヤフラム圧力測定セル(20)のキャパシタ電極(7,7′)に電気的に接続され、 プリント回路基板(10)は、温度センサとして働く構成要素が熱転送域(13)を介して第1の筐体本体に熱的に接するようにダイヤフラム圧力測定セル(20)に対して位置決めされ、別の電子部品は、温度デジタルコンバータ(TDC)およびキャパシタンスデジタルコンバータ(CDC)とともにデジタル信号プロセッサ(DSP)を含有するマイクロチップ(12)として設計され、これは時間測定法を用いて動作し、前記温度デジタルコンバータ(TDC)および前記キャパシタンスデジタルコンバータ(CDC)は、プリント回路基板に配置されている温度についての参照抵抗器(Rref)およびダイヤフラム(2)の変形に依存して測定すべき圧力の尺度を形成するキャパシタンス(Cx)についての参照キャパシタ(Cref)と比較してダイヤフラム圧力測定セル(20)の温度(Tx)およびキャパシタンス(Cx)を計測し、温度補正された圧力信号は、較正プロセスから予め定められている2つの測定された信号から相関手段を用いて導出され、前記温度補正された圧力信号は、信号出力(16)において圧力信号p=f(Cx,Teff)として与えられてさらに処理され、Teff=f(Tx)であることを特徴とする、方法。
IPC (2件)：
G01L 9/12 ( 200 6.01) ,  G01L 21/00 ( 200 6.01)
FI (2件)：
G01L 9/12 ,  G01L 21/00 Z
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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