特許
J-GLOBAL ID：201003019427359190

真空隔膜セルを製造する方法

発明者：
ベルトシュ,ディートマル

ベルトシュ,ディートマル について

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ディートリヒ,クラウス

ディートリヒ,クラウス について

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オンダ,ニコ

オンダ,ニコ について

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ビュスト,マルティーン

ビュスト,マルティーン について


出願人/特許権者：
インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング

インフィコン ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング について


代理人 (7件)： 深見 久郎 ,  森田 俊雄 ,  仲村 義平 ,  堀井 豊 ,  酒井 將行 ,  荒川 伸夫 ,  佐々木 眞人
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-501347
公開番号（公開出願番号）：特表2010-523946
出願日： 2008年03月25日
公開日（公表日）： 2010年07月15日
要約：
容量式の真空測定セル(8)は全面的にセラミックで製作されている。封止されて結合されなくてはならない領域では、またはブッシングや測定接続部が設けられる領域では、結合されるべき酸化アルミニウムセラミック部品の間に少量のアルミニウム(3,6)が配置され、これら両方の部品が高められた温度と高められた圧力のもとで、水素のような還元性のガスを含む保護ガス雰囲気の存在下で押し合わされる。それによってすでに堅固な結合が成立する。これに続く次のステップで、高められた温度と酸素を含有する雰囲気の中で、まだ残っている可能性のある結合領域(3,6)の金属アルミニウムがさらに酸化されて酸化アルミニウムとなる。それによって結合領域(3,6)それ自体も、結合されるべき各部品自体と実質的に同一の材料からなるようにすることができる。それにより、特に攻撃性のプロセスガスに曝露される領域で、非常に高い耐食性が実現される。
請求項（抜粋）：
圧力変換器として隔膜(2)を備える真空測定セル(8)を製造する方法であって、前記隔膜(2)の一方の側には間隔をおきながら第1のハウジングプレート(1)が縁部領域で結合手段(3)により封止をするように配置されており、それによってこれらの間に基準真空室(7)が形成されるようになっており、前記隔膜(2)の他方の側には間隔をおきながら第2のハウジングプレート(4)が縁部領域で結合手段(3)により封止をするように配置されており、それによってこれらの間に測定真空室(9)が形成されるようになっており、前記第2のハウジングプレート(4)は開口部を有しており、該開口部および前記測定真空室(9)と連通するように接続手段(5)が結合手段(6)により封止をするように配置されており、それによって前記真空測定室(9)を測定されるべき媒体と接続し、少なくとも前記隔膜(2)と前記両方のハウジングプレート(1,4)は酸化アルミニウムからなるセラミック部品(1,2,4)として構成される、そのような方法において、前記結合手段(3,6)のうち少なくとも1つについて、結合されるべき前記セラミック部品(1,2,4)の間にアルミニウムが0.5μmから30μmの範囲内の厚さで配置され、結合されるべき前記セラミック部品(1,2,4)が、還元性のガスを含む前記各部品を取り囲むプロセス雰囲気のなかで、600°Cから680°Cの範囲内の高められた温度で30から90分の範囲内の時間のあいだ押し合わされ、引き続き酸素を含む第2のプロセスガス雰囲気のなかで焼なましが行われ、該焼なましは450°Cから575°Cの温度範囲で行われ、それにより金属アルミニウムが酸化されて実質的に酸化アルミニウムになるようにすることを特徴とする方法。
IPC (1件)：
G01L 21/00
FI (1件)：
G01L21/00 Z
Fターム (7件)：
2F055AA11 ,  2F055BB08 ,  2F055CC02 ,  2F055DD09 ,  2F055EE25 ,  2F055FF38 ,  2F055GG11
引用特許：
審査官引用 (4件)
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