特許
J-GLOBAL ID：201803004922913790

弾性波デバイス

発明者：
木田 真澄

木田 真澄 について

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西原 時弘

西原 時弘 について

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佐藤 良夫

佐藤 良夫 について

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谷口 眞司

谷口 眞司 について

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入枝 泰成

入枝 泰成 について


出願人/特許権者：
太陽誘電株式会社

太陽誘電株式会社 について


代理人 (1件)： 片山 修平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-129230
公開番号（公開出願番号）：特開2018-006919
出願日： 2016年06月29日
公開日（公表日）： 2018年01月11日
要約：
【課題】積層膜等の破壊等を抑制する。【解決手段】基板10と、前記基板内または上に設けられ、空隙30、または音響特性の異なる少なくとも2種類の層が積層された音響反射膜、を含む音響反射層と、前記基板および前記音響反射層上に設けられた圧電膜14と、前記圧電膜の少なくとも一部を挟み下部電極と上部電極とが対向する複数の共振領域50が平面視において前記音響反射層内共通に設けられるように、前記下部電極12および前記上部電極16のいずれか一方が分断され前記下部電極および前記上部電極の他方は分断されず、前記基板および前記音響反射層上に前記圧電膜を挟むように設けられた下部電極および上部電極と、前記下部電極と前記上部電極との間に設けられ、平面視において前記複数の共振領域の各々の外周領域において少なくとも一部に設けられ、前記複数の共振領域の各々の中央領域には設けられていない挿入膜28と、を具備する弾性波デバイス【選択図】図15
請求項（抜粋）：
基板と、 前記基板内または上に設けられ、空隙、または音響特性の異なる少なくとも2種類の層が積層された音響反射膜、を含む音響反射層と、 前記基板および前記音響反射層上に設けられた圧電膜と、 前記圧電膜の少なくとも一部を挟み下部電極と上部電極とが対向する複数の共振領域が平面視において前記音響反射層内に共通に設けられるように、前記下部電極および前記上部電極のいずれか一方が分断され前記下部電極および前記上部電極の他方は分断されず、前記基板および前記音響反射層上に前記圧電膜を挟むように設けられた下部電極および上部電極と、 前記下部電極と前記上部電極との間に設けられ、平面視において前記複数の共振領域の各々の外周領域において少なくとも一部に設けられ、前記複数の共振領域の各々の中央領域には設けられていない挿入膜と、 を具備する弾性波デバイス。
IPC (2件)：
H03H 9/17 ,  H03H 9/54
FI (2件)：
H03H9/17 F ,  H03H9/54 Z
Fターム (11件)：
5J108AA02 ,  5J108AA07 ,  5J108BB07 ,  5J108BB08 ,  5J108CC11 ,  5J108DD01 ,  5J108FF02 ,  5J108FF05 ,  5J108KK01 ,  5J108KK02 ,  5J108NA02
引用特許：
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (10件)
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