特許

J-GLOBAL ID：201003049357859838

圧電薄膜共振子及びこれを用いたフィルタあるいは分波器

発明者： 西原 時弘 ,  原 基揚 ,  谷口 眞司 ,  坂下 武 ,  横山 剛 ,  岩城 匡郁 ,  上田 政則
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-206089
公開番号（公開出願番号）：特開2010-045437
出願日： 2008年08月08日
公開日（公表日）： 2010年02月25日
要約：

【課題】メンブレンの機械的強度を損なうことなく、圧電薄膜共振子のQを向上させる。【解決手段】圧電薄膜共振子10は、基板1と、下部電極2と、圧電膜3と、上部電極4とを備え、上部電極4および下部電極2が対向する対向領域Tと外側との境界部分を跨ぐように対向領域Tの内側から外側にかけて空隙8が形成されており、空隙8は、圧電膜3の膜厚方向の一部に形成される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板と、 前記基板上に設けられた下部電極と、 前記下部電極上に設けられた圧電膜と、 前記圧電膜上に設けられた上部電極とを備え、 前記上部電極および前記下部電極が対向する対向領域と外側との境界部分を跨ぐように前記対向領域の内側から外側にかけて空隙が形成されており、 前記空隙は、圧電膜の膜厚方向の一部に形成される、圧電薄膜共振子。

IPC (5件)：

H03H 9/17 ,  H03H 9/54 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22

FI (7件)：

H03H9/17 F ,  H03H9/54 Z ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/08 K ,  H01L41/22 Z

Fターム (17件)：

5J108AA01 ,  5J108AA07 ,  5J108BB08 ,  5J108CC04 ,  5J108CC09 ,  5J108CC10 ,  5J108CC11 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108EE13 ,  5J108FF02 ,  5J108FF05 ,  5J108HH01 ,  5J108HH05 ,  5J108JJ01 ,  5J108KK01

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 圧電薄膜共振器およびフィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-127017   出願人：富士通メディアデバイス株式会社, 富士通株式会社
• フィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-151474   出願人：富士通メディアデバイス株式会社, 富士通株式会社