アーク蒸発源

発明者： , , , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (3件)：小谷悦司 , 小谷昌崇 , 行武孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-207882
公開番号（公開出願番号）：特開2018-090904
出願日： 2017年10月27日
公開日（公表日）： 2018年06月14日
要約：

【課題】ターゲットから放出された荷電粒子が対象物に到達する到達効率を増大させることが可能なアーク蒸発源を提供する。【解決手段】所定の基材Sに向かって荷電粒子を供給するアーク蒸発源1Aは、ターゲットTと電磁コイル20を含む磁場発生機構2とを備える。電磁コイル20は、ターゲットTと基材Sとの間に配置され基準直線CLを軸心とする筒形状を有する。基準直線CLとターゲットTのターゲット放出面TFとの交点における磁場の大きさをB0(Gauss)、ターゲット放出面TFと基材Sとの間における基準直線CL上の磁場の最大値をBm(Gauss)とした場合、Bm/B0≦3の関係が満たされている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

所定の対象物に向かって荷電粒子を供給するアーク蒸発源であって、先端面を備え、アーク放電によって前記先端面が溶解され蒸発されることで、前記荷電粒子を放出するターゲットと、前記ターゲットの前記先端面と直交する基準直線を軸心とする筒形状を有し、前記ターゲットの前記先端面と交差しかつ前記先端面から前記対象物側に向かって延びる磁場を形成する磁場発生部を少なくとも備え、前記先端面から放出された前記荷電粒子を前記対象物に向かって誘導する磁場発生機構であって、前記基準直線と前記ターゲットの前記先端面との交点における前記磁場の大きさをB0(Gauss)、前記先端面と前記対象物との間における前記基準直線上の前記磁場の最大値をBm(Gauss)とした場合、Bm/B0≦3の関係を満たすように前記磁場を形成する磁場発生機構と、を有する、アーク蒸発源。

IPC (3件)：

C23C 14/32 , C23C 14/24 , H05H 1/48

FI (3件)：

C23C14/32 A , C23C14/24 F , H05H1/48

Fターム (23件)：

2G084AA04 , 2G084BB12 , 2G084BB14 , 2G084CC02 , 2G084CC23 , 2G084CC33 , 2G084DD14 , 2G084FF04 , 2G084FF07 , 2G084FF08 , 2G084FF27 , 2G084FF29 , 4K029AA02 , 4K029AA04 , 4K029BA58 , 4K029BC02 , 4K029BD05 , 4K029CA04 , 4K029CA13 , 4K029DB04 , 4K029DB17 , 4K029DD06 , 4K029JA03

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