特許

J-GLOBAL ID：201803005676533726

電力変換用スイッチング素子および電力変換装置

発明者： 橋本 貴之 ,  森 睦宏 ,  増永 昌弘
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (2件)： 特許業務法人磯野国際特許商標事務所 ,  多田 悦夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-534125
特許番号：特許第6228542号
出願日： 2012年09月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 半導体基板に形成された第1導電型の半導体層と、 前記半導体基板の第1表面側に形成された複数のトレンチの互いに隣接する2つずつのトレンチのそれぞれに、前記第1導電型の半導体層とゲート絶縁膜を介して接するように設けられた第1のゲート電極および第2のゲート電極からなるゲート電極の組と、 前記ゲート電極の組の同じ組に属する前記第1のゲート電極および前記第2のゲート電極の間に挟まれた前記半導体基板の前記第1表面側に、前記ゲート絶縁膜を介して形成された第2導電型のチャネル層と、 前記チャネル層の表面の一部に、前記第1のゲート電極および前記第2のゲート電極のそれぞれに前記ゲート絶縁膜を介して接するように形成された第1導電型のエミッタ領域と、 前記第1導電型のエミッタ領域および前記第2導電型のチャネル層が電気的に接続されたエミッタ電極と、 前記第1導電型の半導体層に接し、前記半導体基板の第2表面側に形成された第2導電型のコレクタ層と、 前記第2導電型のコレクタ層に電気的に接続されたコレクタ電極と、 を備えた電力変換用スイッチング素子であって、 前記同じ組に属する前記第1のゲート電極と前記第2のゲート電極との間隔をaとし、前記互いに異なる組に属し、互いに隣接する2つのゲート電極同士の間隔をbとして、それぞれのゲート電極は、b>aを満たすように配置されており、 前記第1のゲート電極および前記第2のゲート電極には、駆動タイミングに時間差のある第1の駆動信号および第2の駆動信号がそれぞれ供給され、 前記時間差は、前記第1のゲート電極と前記第2のゲート電極との両方に時間差なく同じタイミングで駆動信号が供給される場合に比べて、前記電力変換用スイッチング素子のターンオン時のスイッチング速度を抑制する時間差である ことを特徴とする電力変換用スイッチング素子。

IPC (4件)：

H01L 21/8234 ( 200 6.01) ,  H01L 27/088 ( 200 6.01) ,  H01L 29/78 ( 200 6.01) ,  H01L 29/739 ( 200 6.01)

FI (9件)：

H01L 27/088 E ,  H01L 27/088 C ,  H01L 29/78 652 C ,  H01L 29/78 652 H ,  H01L 29/78 652 J ,  H01L 29/78 652 K ,  H01L 29/78 653 A ,  H01L 29/78 655 A ,  H01L 29/78 657 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-429741   出願人：株式会社東芝
• 半導体装置及び電力変換装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-045081   出願人：株式会社日立製作所
• 絶縁ゲート型半導体素子とその駆動方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-271606   出願人：株式会社東芝
• 半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-109070   出願人：株式会社デンソー