特許
J-GLOBAL ID：201803005938038578
プロセスチャンバに結合された流量コントローラをモニタする方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
園田・小林特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-533371
特許番号：特許第6328556号
出願日： 2012年09月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 プロセスチャンバに結合された流量コントローラをモニタする方法であって、
第1の時間に前記流量コントローラの第1の流量で、前記流量コントローラのバルブ位置、前記流量コントローラの全窒素等価流量出力、および前記プロセスチャンバの排気バルブ位置の第1の値をモニタするステップと、
前記第1の時間の後の第2の時間に前記流量コントローラの前記第1の流量で、前記流量コントローラのバルブ位置、前記流量コントローラの全窒素等価流量出力、および前記プロセスチャンバの排気バルブ位置の第2の値をモニタするステップと、
前記第1の値と前記第2の値との比較から、前記流量コントローラ、または前記プロセスチャンバの構成要素の少なくとも一方の状態を決定するステップであって、当該決定するステップにおいて、前記流量コントローラのバルブ位置の第1の値が前記流量コントローラのバルブ位置の第2の値と異なり、前記流量コントローラの全窒素等価流量出力および前記プロセスチャンバの排気バルブ位置の第1の値がそれぞれ前記流量コントローラの全窒素等価流量出力および前記プロセスチャンバの排気バルブ位置の第2の値と同じであるときは、前記流量コントローラの状態以外の問題があると決定する、ステップと、を含む、方法。
IPC (2件)：
G05D 7/06 ( 200 6.01)
, G05B 23/02 ( 200 6.01)
G05D 7/06 Z
, G05B 23/02 302 Y
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (9件)
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