特許
J-GLOBAL ID：201803006031499341
めっき方法およびめっき装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
渡邉 勇
, 廣澤 哲也
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-247946
公開番号（公開出願番号）：特開2017-075405
特許番号：特許第6268271号
出願日： 2016年12月21日
公開日（公表日）： 2017年04月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 アノードと、表面にビアホールが形成された基板とを、金属の析出を抑制する抑制成分含有剤を含むめっき液中に互いに対向させて配置し、
前記アノードと前記基板との間に電圧を印加して前記ビアホール内に金属を充填し、
前記基板に印加される電圧を測定し、
所定時間当たりの電圧の変化量を計算し、
前記電圧の変化量が所定の変動幅を越えて減少した時点から、予め設定された時間が経過したときに前記電圧の印加を停止させることを特徴とするめっき方法。
IPC (2件)：
C25D 21/12 ( 200 6.01)
, C25D 7/12 ( 200 6.01)
C25D 21/12 C
, C25D 21/12 A
, C25D 7/12
