特許
J-GLOBAL ID：201803006888129670
フレーム付き蒸着マスク、フレーム付き蒸着マスクの製造方法、フレーム付き蒸着マスク準備体、パターンの製造方法、及び有機半導体素子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
特許業務法人 インテクト国際特許事務所
, 石橋 良規
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-079995
公開番号（公開出願番号）：特開2018-119218
出願日： 2018年04月18日
公開日（公表日）： 2018年08月02日
要約：
【課題】大型化した場合でも高精細化と軽量化の双方を満たすことができ、かつ、強度を保ちつつも、高精細な蒸着パターンの形成が可能な蒸着マスク、及びこの蒸着マスクを簡便に製造することができる蒸着マスクの製造方法や蒸着マスク準備体、さらには高精細な有機半導体素子を製造することができる有機半導体素子の製造方法を提供すること。【解決手段】複数のスリット15が設けられた金属マスク10と、樹脂マスク20とが積層され、樹脂マスク20には、複数画面を構成するために必要な開口部25が設けられ、開口部25は、蒸着作製するパターンに対応しており、各スリット15が、少なくとも1画面全体と重なる位置に設けられている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
複数画面分の蒸着パターンを同時に形成するための蒸着マスクであって、
複数のスリットが設けられた金属マスクと、樹脂マスクとが積層され、
前記樹脂マスクには、複数画面を構成するために必要な開口部が設けられ、
前記開口部は、蒸着作製するパターンに対応しており、
各前記スリットが、少なくとも1画面全体と重なる位置に設けられていることを特徴とする蒸着マスク。
IPC (3件)：
C23C 14/04
, H01L 51/50
, H05B 33/10
C23C14/04 A
, H05B33/14 A
, H05B33/10
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC35
, 3K107CC45
, 3K107FF15
, 3K107GG04
, 3K107GG33
, 4K029HA02
, 4K029HA03
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (1件)
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