特許
J-GLOBAL ID:201803007282392461
磁気トンネル接合素子及び磁気メモリ
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
木村 満
, 毛受 隆典
, 佐藤 浩義
公報種別:再公表公報
出願番号(国際出願番号):JP2016084372
公開番号(公開出願番号):WO2017-086481
出願日: 2016年11月18日
公開日(公表日): 2017年05月26日
要約:
磁気トンネル接合素子(10)は、強磁性体から構成される参照層(14)と、Oを含む障壁層(15)と、Co又はFeを含む強磁性体から構成される記録層(16)と、Oを含む第1の保護層(17)と、Pt、Ru、Co、Fe、CoB、FeB又はCoFeBの少なくとも1つを含む第2の保護層(18)と、が積層された構成を有する。
請求項(抜粋):
強磁性体から構成される参照層と、
Oを含む障壁層と、
Co又はFeを含む強磁性体から構成される記録層と、
Oを含む第1の保護層と、
Pt、Ru、Co、Fe、CoB、FeB又はCoFeBの少なくとも1つを含む第2の保護層と、
が積層して構成された磁気トンネル接合素子。
IPC (5件):
H01L 21/823
, H01L 27/105
, H01L 43/10
, H01L 29/82
, H01L 43/08
FI (4件):
H01L27/105 447
, H01L43/10
, H01L29/82 Z
, H01L43/08 Z
Fターム (34件):
4M119AA11
, 4M119AA20
, 4M119BB01
, 4M119CC05
, 4M119DD08
, 4M119DD17
, 4M119DD32
, 4M119DD42
, 4M119EE22
, 4M119EE27
, 5F092AA08
, 5F092AB08
, 5F092AC12
, 5F092AD23
, 5F092AD25
, 5F092BB10
, 5F092BB22
, 5F092BB23
, 5F092BB34
, 5F092BB35
, 5F092BB36
, 5F092BB37
, 5F092BB42
, 5F092BB43
, 5F092BB53
, 5F092BB55
, 5F092BC07
, 5F092BC08
, 5F092BC12
, 5F092BC13
, 5F092BC18
, 5F092BC22
, 5F092BC42
, 5F092BE27
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