特許
J-GLOBAL ID：201803007325063661
蒸着法により1本または複数のヤーンをコーティングする装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人川口國際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-526055
公開番号（公開出願番号）：特表2018-534426
出願日： 2016年11月18日
公開日（公表日）： 2018年11月22日
要約：
本発明は、蒸着法による1本または複数のヤーン(2)を蒸着法によりコーティングする装置(1)を提供し、該装置は、少なくとも、 長手方向軸に沿って伸び、内周壁(5)と外周壁(7)との間に位置する少なくとも1個の処理ゾーン(4a)を有する処理チャンバー(4)であって、その中で少なくとも1本のヤーン(2)が蒸着法を実施することによりコートされる処理チャンバー(4)と、 前記少なくとも1本のヤーン(2)を処理ゾーン(4a)を通って送るように構成されたコンベヤーシステムと、 内周または外周壁(5または7)中に存在する少なくとも1個の入口オリフィス(7a)を通って処理気相(10a)を処理ゾーン(4a)中に注入するように構成された注入装置と、 残留気相(11a)を、内周または外周壁(5または7)中に存在する少なくとも1個の出口オリフィス(8a)を通って処理ゾーン(4a)から除去するように構成された除去装置であって、前記入口オリフィス(7a)および前記出口オリフィス(8a)が処理チャンバー(4)の長手方向軸に垂直の共通の面内に位置し、処理チャンバー(4)の円周方向(C)に沿ってずれている除去装置と、を含む。
請求項（抜粋）：
蒸着法による1本または複数のヤーン(2)をコーティングする装置(1)であって、装置は、少なくとも、
長手方向軸(X)に沿って伸び、内周壁(5)と外周壁(7)との間に位置する少なくとも1個の処理ゾーン(4a)を有する処理チャンバー(4)であって、その中で少なくとも1本のヤーン(2)が蒸着法を実施することによりコートされる処理チャンバー(4)と、
前記少なくとも1本のヤーン(2)を処理ゾーン(4a)を通って送るように構成されたコンベヤーシステム(6)と、
内周または外周壁(5または7)中に存在する少なくとも1個の入口オリフィス(7a)を通って処理気相(10a)を処理ゾーン(4a)中に注入するように構成された注入装置と、
残留気相(11a)を、内周または外周壁(5または7)中に存在する少なくとも1個の出口オリフィス(8a)を通って処理ゾーン(4a)から除去するように構成された除去装置であって、前記入口オリフィス(7a)および前記出口オリフィス(8a)が処理チャンバー(4)の長手方向軸(X)に垂直の共通の面(P)内に位置し、処理チャンバー(4)の円周方向(C)に沿ってずれている除去装置と、を含む装置(1)。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (22件)：
4K030AA06
, 4K030AA10
, 4K030AA13
, 4K030AA17
, 4K030AA18
, 4K030BA39
, 4K030CA01
, 4K030CA05
, 4K030CA13
, 4K030DA02
, 4K030EA03
, 4K030EA11
, 4K030FA10
, 4K030GA14
, 4K030JA05
, 4K030JA06
, 4K030JA09
, 4K030JA10
, 4K030JA11
, 4K030JA12
, 4K030KA01
, 4K030KA08
