特許

J-GLOBAL ID：201803007694289061

ウェハの装着用受け取り手段

発明者： マルクス・ウィンプリンガー ,  トーマス・ヴァーゲンライトナー ,  アレクサンダー・フィルバート
出願人/特許権者： エーファウ・グループ・エー・タルナー・ゲーエムベーハー
代理人 (4件)： アインゼル・フェリックス=ラインハルト ,  前川 純一 ,  二宮 浩康 ,  上島 類
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-088780
公開番号（公開出願番号）：特開2018-117165
出願日： 2018年05月02日
公開日（公表日）： 2018年07月26日
要約：

【課題】より正確な位置合わせを達成できるように受け取り手段を改良する。【解決手段】本発明は、装着面(1o)と、前記装着面(1o)上へのウェハの装着のための装着手段と、前記ウェハの局所的及び/全体的なねじれの少なくとも部分的、能動的、かつ、特に局所的に制御可能な補償のための補償手段(3、4、5、6)と、の特徴を有する、前記ウェハの受け取り及び装着のための受け取り手段に関する。さらに、この発明は、上述の受け取り手段を使用する、第1のウェハの第2のウェハとの位置合わせの方法に関する。【選択図】図3b

請求項（抜粋）：

-装着面(1o)と、 -前記装着面(1o)上へのウェハの装着のための装着手段と、 -前記ウェハの局所的及び/全体的なねじれの少なくとも部分的、能動的、かつ、特に局所的に制御可能な補償のための補償手段(3、4、5、6)と、 の特徴を有する、前記ウェハの受け取り及び装着のための受け取り手段。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/683

FI (2件)：

H01L21/68 G ,  H01L21/68 P

Fターム (24件)：

5F131AA02 ,  5F131CA07 ,  5F131CA18 ,  5F131DA67 ,  5F131EA02 ,  5F131EB02 ,  5F131EB54 ,  5F131EB72 ,  5F131EB78 ,  5F131EB81 ,  5F131EB82 ,  5F131FA32 ,  5F131FA37 ,  5F131JA12 ,  5F131JA14 ,  5F131JA20 ,  5F131KA23 ,  5F131KA32 ,  5F131KA44 ,  5F131KA54 ,  5F131KA63 ,  5F131KA72 ,  5F131KB07 ,  5F131KB32

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 露光装置及び露光方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-017850   出願人：三菱電機株式会社