特許
J-GLOBAL ID：201803007836707001
液浸部材及び露光装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
西澤 和純
, 大浪 一徳
, 小林 淳一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-071594
公開番号（公開出願番号）：特開2018-106207
出願日： 2018年04月03日
公開日（公表日）： 2018年07月05日
要約：
【課題】露光不良の発生を抑制できる液浸部材を提供する。【解決手段】液浸部材は、光学部材の射出面(12)と基板(P)との間の第1液体を介して露光光で基板を露光する液浸露光装置で用いられ、光学部材の下方で移動可能な物体上に液浸空間を形成可能である。液浸部材は、光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材(21)と、物体と対向可能であり、露光光の光路の外側において移動可能な第2部材(22)と、光学部材を保護する保護部(部分211,壁部50)と、を備える。保護部は、液浸空間の液体から光学部材が受ける圧力の変動を低減する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
光学部材の射出面と基板との間の第1液体を介して露光光で前記基板を露光する液浸露光装置で用いられ、前記光学部材の下方で移動可能な物体上に液浸空間を形成可能な液浸部材であって、
前記光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と、
前記物体と対向可能であり、前記露光光の光路の外側において移動可能な第2部材と、
前記光学部材を保護する保護部と、を備え、
前記保護部は、前記液浸空間の液体から前記光学部材が受ける圧力の変動を低減する液浸部材。
IPC (1件)：
FI (3件)：
G03F7/20 501
, G03F7/20 521
, G03F7/20 502
2H197AA06
, 2H197AA07
, 2H197AA08
, 2H197AA09
, 2H197AA10
, 2H197AA12
, 2H197AB02
, 2H197BA23
, 2H197CA03
, 2H197CA05
, 2H197CA06
, 2H197CA08
, 2H197CC16
, 2H197CD12
, 2H197DB16
, 2H197DB28
, 2H197DB29
, 2H197HA03
, 2H197HA04
, 2H197HA05
, 2H197HA10
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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