真空ポンプ用モータロータ及びこれを備えるモータ並びに真空ポンプ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：小野新次郎 , 宮前徹 , 山崎幸作 , 鐘ヶ江幸男 , 串田幸一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-033584
公開番号（公開出願番号）：特開2014-165992
特許番号：特許第6298237号
出願日： 2013年02月22日
公開日（公表日）： 2014年09月08日
請求項（抜粋）：

【請求項1】半導体製造プロセスにおいて使用される真空ポンプのポンプロータ回転軸を駆動するためのキャンドモータで用いるモータロータであって、穴部を有する複数の鋼板が軸線方向に積層されたロータコアと、前記穴部に設置された永久磁石と、前記ロータコアの軸線方向両端部に取り付けられた側板とを備え、前記鋼板の全面には接着剤が塗布されており、この接着剤を介して前記複数の鋼板同士及び側板が面接合されており、前記鋼板が積層された後の硬化した接着剤は、樹脂含浸剤により封孔処理されていることを特徴とする、モータロータ。

IPC (2件)：