特許
J-GLOBAL ID：201803008149007462

粘度および質量を検出するための小型統合微小電気機械システム(MEMS)光センサアレイ

発明者：
ハカン・ウレイ

ハカン・ウレイ について

, 
ギョクセニン・ヤラルオール

ギョクセニン・ヤラルオール について


出願人/特許権者：
コチ・ウニヴェルシテシ

コチ・ウニヴェルシテシ について


代理人 (4件)： 山田 卓二 ,  田中 光雄 ,  岡部 博史 ,  山田 裕三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-539642
特許番号：特許第6330046号
出願日： 2013年09月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 質量降着および粘度を検出するデバイスであって、 複数の流体チャネル(16)を有する使い捨てカートリッジと、 少なくとも1つの流体チャネル(16)内に配置される少なくとも1つの振動発生機械構造体(10)と、 振動発生機械構造体のそれぞれに結合された少なくとも1つの光源(35)と、 駆動信号により、単一のアクチュエーティング周波数にて励起される少なくとも1つのアクチュエ-ティング手段(15)と、 励起信号に対する振動発生機械構造体(10)の位相を測定する制御電子回路(14)と、 少なくとも1つの振動発生機械構造体(10)および少なくとも1つの光源(35)に結合された少なくとも1つの集光器(12)と、 テスト中のカートリッジを所望の温度に維持するための温度制御システムと、を備え、 少なくとも1つの集光器(12)は、少なくとも1つの光検出器(13)に結合されており、制御電子回路(14)は、少なくとも1つのアクチュエーティング手段(15)に結合されており、 少なくとも1つの集光器(12)は、振動発生機械構造体(10)から光を集光しその光を光検出器(13)に結合する光ファイバ(32)であり、 光検出器(13)は光検出器信号を生成し、 制御電子回路(14)は、位相振幅検出電子回路(45)と、光検出器(13)の出力に結合された前置増幅器(48)と、駆動アンプ(44)と、駆動アンプ(44)および位相振幅検出電子回路(45)に結合された信号発生器(43)とを備え、 光源(35)は、ファンアウト型回折格子(34)および集束光学系(36)に結合されており、 駆動アンプ(44)は、アクチュエーティング手段(15)を単一の周波数にて駆動し、位相振幅検出電子回路(45)は、駆動信号と光検出器信号との間の位相差を出力する、デバイス。
IPC (3件)：
G01N 5/02 ( 200 6.01) ,  G01N 11/00 ( 200 6.01) ,  G01N 35/00 ( 200 6.01)
FI (3件)：
G01N 5/02 A ,  G01N 11/00 A ,  G01N 35/00 B
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (5件)
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引用文献：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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