アライメントマークの検出方法、アライメント方法及び蒸着方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：吉井剛 , 吉井雅栄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-136250
公開番号（公開出願番号）：特開2018-003142
特許番号：特許第6298108号
出願日： 2016年07月08日
公開日（公表日）： 2018年01月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】アライメントマークと前記アライメントマークとは別のマークとが設けられた基体の前記アライメントマークと前記別のマークとを光学手段を用いて検出するための第1の検出工程と、前記第1の検出工程の後、前記アライメントマークが検出されなかった場合に、前記基体を移動させる第1の移動工程と、再度、前記アライメントマークを前記光学手段を用いて検出するための第2の検出工程とを有し、前記第1の検出工程で前記別のマークが検出された場合には、前記第1の移動工程において、前記別のマークが検出されない場合の移動量より少ない固定量だけ前記基体を移動させることを特徴とするアライメントマークの検出方法。

IPC (2件)：