特許
J-GLOBAL ID：201803008480606961

吸着ノズル、作業機、および対基板作業システム

発明者：
櫻山 岳史

櫻山 岳史 について


出願人/特許権者：
富士機械製造株式会社

富士機械製造株式会社 について


代理人 (3件)： 特許業務法人ネクスト ,  深津 泰隆 ,  片岡 友希
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-200871
公開番号（公開出願番号）：特開2018-064014
出願日： 2016年10月12日
公開日（公表日）： 2018年04月19日
要約：
【課題】吸着ノズルによる部品の保持力を向上させる。【解決手段】 本発明に記載の装着機16は、基板を保持する保持装置と、負圧供給源により供給される負圧に依拠して部品を吸着保持する吸着ノズルを有する装着ヘッドと、装着ヘッドを移動させる移動装置と、保持装置と装着ヘッドと移動装置とを覆うカバーハウジング34と、カバーハウジング内の圧力を増圧する増圧装置90とを備えている。そして、吸着ノズルは、負圧供給源により吸着ノズルに供給される負圧と、増圧装置により増圧されるカバーハウジング内の圧力との差圧を利用して、部品を吸着保持する。これにより、吸着ノズルによる部品の保持力を向上させることが可能となる。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
負圧を供給する負圧供給源を備え、被吸着物を吸着保持する吸着ノズルであって、 前記吸着ノズルは、 前記吸着ノズルを覆うハウジングと、 前記ハウジング内の圧力を増圧する増圧装置と を備え、 前記負圧供給源により前記吸着ノズルに供給される負圧と、前記増圧装置により増圧される前記ハウジング内の圧力との差圧を利用して、被吸着物を吸着保持する吸着ノズル。
IPC (2件)：
H05K 13/04 ,  H05K 13/00
FI (2件)：
H05K13/04 A ,  H05K13/00 Z
Fターム (8件)：
5E353AA02 ,  5E353GG02 ,  5E353GG21 ,  5E353HH11 ,  5E353JJ21 ,  5E353JJ41 ,  5E353NN18 ,  5E353QQ30
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (6件)
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