電子部品用のガラス保護膜、それを用いた電子部品および電子部品保護膜用のガラス保護膜の製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (4件)：平木祐輔 , 渡辺敏章 , 松丸秀和 , 今村健一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-245655
公開番号（公開出願番号）：特開2018-100190
出願日： 2016年12月19日
公開日（公表日）： 2018年06月28日
要約：

【課題】高温環境下においても使用可能な電子部品のガラス保護膜の提供。【解決手段】アルミナ基板および抵抗配線に積層するためのガラス保護膜47であって、SiO2-CaO-Al2O3を主成分とし、アノーサイト結晶を含み、酸化マグネシウム(MgO)、酸化亜鉛(ZnO)、または酸化ホウ素(B2O3)から選択される少なくとも1種をさらに含み、熱膨張率がアルミナ基板と近似しており、mol%でSiO2:30〜60%、CaO又はCaCO3:15〜25%、Al2O3:10〜25%を含む無機酸化物を混合して溶融させる工程、溶融後に粉砕してガラス粉末を作製する工程、前記ガラス粉末を溶剤に溶かして、ガラスペーストを形成する工程、前記ガラスペーストを900°C以上の温度で焼成し、アノーサイト結晶を含むガラス保護膜を形成する工程と、を有する電子部品46のガラス保護膜47の製造方法及びガラス保護膜。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

アルミナ基板および抵抗配線に積層するためのガラス保護膜であって、 SiO2-CaO-Al2O3を主成分とし、アノーサイト結晶を含むことを特徴とする電子部品用のガラス保護膜。

IPC (8件)：

C03C 10/06 , C03C 3/087 , C03C 3/091 , C03C 3/093 , C03C 8/14 , H01L 23/29 , H01L 23/31 , H01L 23/12

FI (7件)：

C03C10/06 , C03C3/087 , C03C3/091 , C03C3/093 , C03C8/14 , H01L23/30 G , H01L23/12 G

Fターム (80件)：

4G062AA08 , 4G062AA09 , 4G062AA11 , 4G062AA15 , 4G062BB06 , 4G062CC08 , 4G062CC09 , 4G062CC10 , 4G062DA05 , 4G062DA06 , 4G062DB04 , 4G062DC01 , 4G062DC02 , 4G062DC03 , 4G062DC04 , 4G062DD01 , 4G062DE01 , 4G062DE02 , 4G062DE03 , 4G062DF01 , 4G062EA01 , 4G062EB01 , 4G062EC01 , 4G062ED01 , 4G062ED02 , 4G062ED03 , 4G062EE04 , 4G062EF01 , 4G062EG01 , 4G062FA01 , 4G062FA10 , 4G062FB01 , 4G062FC01 , 4G062FD01 , 4G062FE01 , 4G062FF01 , 4G062FG01 , 4G062FH01 , 4G062FJ01 , 4G062FK01 , 4G062FL01 , 4G062GA01 , 4G062GA10 , 4G062GB01 , 4G062GC01 , 4G062GD01 , 4G062GE01 , 4G062HH01 , 4G062HH03 , 4G062HH05 , 4G062HH07 , 4G062HH09 , 4G062HH11 , 4G062HH13 , 4G062HH15 , 4G062HH17 , 4G062HH20 , 4G062JJ01 , 4G062JJ03 , 4G062JJ05 , 4G062JJ07 , 4G062JJ10 , 4G062KK01 , 4G062KK03 , 4G062KK05 , 4G062KK07 , 4G062KK10 , 4G062MM06 , 4G062MM07 , 4G062NN24 , 4G062NN31 , 4G062NN33 , 4G062NN34 , 4G062PP09 , 4G062QQ17 , 4M109AA03 , 4M109CA12 , 4M109DB17 , 4M109EA18 , 4M109EC05

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