L10型FeNi規則合金の製造方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：須田篤 , 楠修二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-175873
公開番号（公開出願番号）：特開2018-041873
出願日： 2016年09月08日
公開日（公表日）： 2018年03月15日
要約：

【課題】比較的簡便な方法で薄膜状のL10型FeNi規則合金を製造することができる、L10型FeNi規則合金の製造方法を提供する。【解決手段】不活性ガス雰囲気中で、回転する基板の表面にFeとNiと第三元素とを同時にスパッタしてFeNi合金薄膜を製造し、真空雰囲気中または不活性ガス雰囲気中で、そのFeNi合金薄膜を310°C以上500°C未満の所定の温度まで、0.1°C/秒以上の昇温速度で加熱した後、その所定の温度で1秒以上保持する。基板はMgO単結晶基板から成り、基板の表面が(001)面であることが好ましい。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

真空雰囲気中または不活性ガス雰囲気中で、FeNi合金薄膜を所定の温度まで加熱した後、前記所定の温度で所定の時間保持する加熱工程を有することを特徴とするL10型FeNi規則合金の製造方法。

IPC (8件)：

H01F 10/14 , C22C 19/03 , C22F 1/10 , C22C 38/00 , C21D 6/00 , C23C 14/58 , C23C 14/14 , H01F 41/18

FI (8件)：

H01F10/14 , C22C19/03 D , C22F1/10 C , C22C38/00 303A , C21D6/00 B , C23C14/58 A , C23C14/14 F , H01F41/18

Fターム (14件)：

4K029AA04 , 4K029BA25 , 4K029BA26 , 4K029BB07 , 4K029BC06 , 4K029CA05 , 4K029DC16 , 4K029DC39 , 4K029JA02 , 5E049AA09 , 5E049AA10 , 5E049DB04 , 5E049EB06 , 5E049GC01

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