特許
J-GLOBAL ID:201803008718194713

貼合装置と、該貼合装置に適用される貼合治具

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 森本 聡
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-254995
公開番号(公開出願番号):特開2018-103553
出願日: 2016年12月28日
公開日(公表日): 2018年07月05日
要約:
【課題】貼合処理に要する一連の貼合作業のサイクルタイムを短縮して生産性を向上できるようにした貼合装置の提供。【解決手段】下貼合台13と、上ベースに装着される上フレーム21を備えており、上ベースには、上フレーム21を保持固定する上クランプ構造を設け、下貼合台13には、上フレーム21を保持固定する下クランプ構造43を設け、貼合が終了した上フレーム21を、下クランプ構造43で貼合姿勢のまま保持固定して、下貼合台13から上フレーム21に至る間の各部材を一体化して貼合ブランクBを構成し、上クランプ構造を解除して上ベースを上フレーム21から分離し、貼合ブランクBをチャンバー本体10から取出して、未硬化状態の接着材Dの硬化処理を行う、貼合装置。【選択図】図1
請求項(抜粋):
チャンバー本体(10)と、チャンバー本体(10)の開口を封止する封止姿勢と、開口を開ける開放姿勢との間で変位可能に構成されたチャンバー蓋体(11)と、これらチャンバー本体(10)とチャンバー蓋体(11)とで区画される真空チャンバー(C)内の空気を排気する真空源(2)を備え、真空源(2)により真空チャンバー(C)内が真空とされた真空環境下において、上ワーク(23)と下ワーク(15)とを接触材(D)を介して貼合する貼合装置であって、 チャンバー本体(10)に着脱可能に装着されるとともに、下ワーク(15)を保持する下貼合台(13)と、 チャンバー蓋体(11)に固定した上ベース(20)に着脱可能に装着されるとともに、上ワーク(23)を保持する上フレーム(21)と、 上ベース(20)に設けられて、該上ベース(20)に装着された上フレーム(21)を分離可能に保持固定する上クランプ構造(44)と、 下貼合台(13)に設けられて、上フレーム(21)を下貼合台(13)と対峙する貼合姿勢に固定保持する下クランプ構造(43)と、を備え、 上クランプ構造(44)により上フレーム(21)をチャンバー蓋体(11)の上ベース(20)に保持固定し、上フレーム(21)に上ワーク(23)を装着し、さらにチャンバー本体(10)に装着された下貼合台(13)に下ワーク(15)を保持した状態において、チャンバー蓋体(11)を閉止姿勢とし、真空源(2)で真空チャンバー(C)内を真空環境とすることで、接着材(D)を介して、上ワーク(23)を下ワーク(15)に貼合できるように構成されており、 上フレーム(21)を、下クランプ構造(43)で貼合姿勢のまま保持固定することで、下貼合台(13)、下ワーク(15)、上ワーク(23)、および上フレーム(21)を含む各部材を一体化して貼合ブランク(B)が形成されるように構成されており、 上フレーム(21)が下クランプ構造(43)で保持固定された状態で、上クランプ構造(44)による上フレーム(21)の保持状態を解除することで、上ベース(20)を上フレーム(21)から分離して、貼合ブランク(B)をチャンバー本体(10)から取出すことができるように構成されていることを特徴とする貼合装置。
IPC (4件):
B29C 65/48 ,  G09F 9/00 ,  G02F 1/13 ,  G02F 1/133
FI (4件):
B29C65/48 ,  G09F9/00 342 ,  G02F1/13 101 ,  G02F1/1333
Fターム (28件):
2H088FA16 ,  2H088FA17 ,  2H088FA18 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  2H189AA16 ,  2H189AA64 ,  2H189HA12 ,  2H189LA02 ,  2H189LA07 ,  2H189LA30 ,  4F211AD08 ,  4F211AG03 ,  4F211AH33 ,  4F211AM28 ,  4F211TA03 ,  4F211TC02 ,  4F211TJ14 ,  4F211TJ15 ,  4F211TJ22 ,  4F211TJ29 ,  4F211TN41 ,  4F211TQ01 ,  5G435AA17 ,  5G435BB12 ,  5G435EE49 ,  5G435KK10
引用特許:
審査官引用 (5件)
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