特許
J-GLOBAL ID：201803009232184488
試料作製装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
特許業務法人YKI国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-008802
公開番号（公開出願番号）：特開2018-116025
出願日： 2017年01月20日
公開日（公表日）： 2018年07月26日
要約：
【課題】試料が分散した液滴の溶媒を乾燥させることで試料を作製する場合において、試料台等での結露の発生を防止する。【解決手段】下側構造体12によって、試料台が設けられる試料室18が形成される。上側構造体14によって、試料室18の上方にノズル室20が形成される。試料室18とノズル室20はゲートバルブ16によって仕切られている。ノズル室20には、試料を吐出するノズル34における少なくとも先端開口部36が臨んでいる。制御装置74は、下側構造体12と上側構造体が連通するときに、試料室18内のガス圧力がノズル室20内のガス圧力よりも高くなるよう関係を維持する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
試料台が設けられる試料室を形成する下側構造体と、
前記試料室の上方にノズル室を形成する上側構造体と、
前記試料室と前記ノズル室とを仕切るゲートバルブと、
前記試料室内のガス圧力を制御する制御手段と、
を含み、
前記ノズル室には、試料を吐出するノズルにおける少なくともノズル先端開口部が臨んでおり、
前記制御手段は、前記下側構造体と前記上側構造体が連通するときに、前記試料室内のガス圧力が前記ノズル室内のガス圧力よりも高くなるよう関係を維持する、
ことを特徴とする試料作製装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (14件)：
2G052AA40
, 2G052AD29
, 2G052AD55
, 2G052CA03
, 2G052CA18
, 2G052DA01
, 2G052DA33
, 2G052EB01
, 2G052EB13
, 2G052FD18
, 2G052GA31
, 2G052HC17
, 2G052HC25
, 2G052JA23
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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