軸外し反射位相顕微鏡システムおよび軸外し位相顕微鏡のための方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：龍華国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-018640
公開番号（公開出願番号）：特開2018-105875
出願日： 2018年02月05日
公開日（公表日）： 2018年07月05日
要約：

【課題】高速フレームレートにて表面形状を計測する全視野反射位相顕微鏡を提供する。【解決手段】コヒーレンスの低い干渉計と、軸外しデジタルホログラフィー顕微鏡法(DHM)とを組み合わせることができる。反射を利用するDHMは、細胞のダイナミックスを、感度高く、シングルショットで撮像することができ、且つ、コヒーレンスの低い光源により、深さに感度のある計測を行うことができる。参照アームに回折格子を利用して、コヒーレンスが低い光源にも関わらず、全視野に均一なコントラストの干渉画像を生成することができる。パス長に対する感度を向上させることができるので、生体細胞の膜のダイナミックスを、サブナノメートルの感度を有しつつ全視野で計測する用途に適している。【選択図】図1A

請求項（抜粋）：

光源と、前記光源からの光の回折次数を分離する光学系と、前記光学系からの前記光の回折次数と、前記光源からの光を受け取るように配置された計測対象の材料からの光とを検知して、前記材料の位相画像を提供する撮像検知器とを備える、位相計測システム。

IPC (5件)：

G01B 11/24 , G01B 9/02 , G01N 21/17 , G01J 9/02 , G02B 21/06

FI (5件)：

G01B11/24 D , G01B9/02 , G01N21/17 630 , G01J9/02 , G02B21/06

Fターム (66件)：

2F064AA09 , 2F064BB00 , 2F064CC10 , 2F064EE01 , 2F064FF01 , 2F064FF03 , 2F064FF05 , 2F064GG03 , 2F064GG22 , 2F064GG44 , 2F064GG49 , 2F064HH03 , 2F064HH08 , 2F064JJ01 , 2F064JJ15 , 2F065BB15 , 2F065CC16 , 2F065CC17 , 2F065DD06 , 2F065FF04 , 2F065FF52 , 2F065GG03 , 2F065GG04 , 2F065GG06 , 2F065GG07 , 2F065JJ03 , 2F065JJ26 , 2F065LL13 , 2F065LL30 , 2F065LL42 , 2F065MM04 , 2F065PP13 , 2F065PP24 , 2F065QQ13 , 2F065QQ16 , 2F065QQ31 , 2F065QQ34 , 2F065QQ42 , 2F065SS13 , 2G059AA05 , 2G059AA06 , 2G059BB04 , 2G059BB14 , 2G059DD13 , 2G059EE02 , 2G059EE09 , 2G059FF02 , 2G059GG01 , 2G059GG08 , 2G059HH06 , 2G059JJ05 , 2G059JJ11 , 2G059JJ15 , 2G059JJ17 , 2G059JJ22 , 2G059KK04 , 2G059MM01 , 2G059MM09 , 2H052AA04 , 2H052AB01 , 2H052AC31 , 2H052AC34 , 2H052AF04 , 2H052AF13 , 2H052AF21 , 2H052AF25

引用特許：

審査官引用 (6件)

光コヒーレンストモグラフィー装置を用いた光画像計測方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-070563 出願人：丹野直弘, マイクロトモグラフィー株式会社
位相アンラッピング方法、プログラム及び干渉計測装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-332789 出願人：富士通株式会社
画像形成装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-192577 出願人：浜松ホトニクス株式会社, リソナショナルラボラトリー

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