特許
J-GLOBAL ID：201803010459056891
イオンエネルギー分布のためのRF波形適合によるフィードバック制御
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
村山 靖彦
, 実広 信哉
, 阿部 達彦
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-508214
公開番号（公開出願番号）：特表2018-534716
出願日： 2016年05月12日
公開日（公表日）： 2018年11月22日
要約：
プラズマチャンバなどのロードに電力を印加するRF電源を制御するためのシステムは、マスタ電源およびスレーブ電源を含む。マスタ電源は、周波数および位相信号などの制御信号をスレーブ電源に提供する。スレーブ電源は、周波数および位相信号を受信し、さらにロードから検出されたスペクトル放射の信号特性を受信する。スレーブRF電源は、ロードに印加されたそのRF出力信号の位相および電力を変化させる。電力を変化させることは、イオン分布関数の幅を制御し、位相を変化させることは、イオン分布のピークを制御する。RF発生器とロードとの間の結合に応じて、第1の高調波、第2の高調波、およびデュアル周波数駆動システムの場合は相互変調歪を含む、異なるスペクトル放射が検知される。
請求項（抜粋）：
無線周波数(RF)発生器システムであって、
ロードに印加されるRF出力信号を生成する電源と、
前記ロードからのスペクトル放射を検知するセンサであって、前記スペクトル放射が、高調波および相互変調歪(IMD)のうちの少なくとも1つを含む、センサと、
前記スペクトル放射内で検知された前記高調波または前記IMDのうちの1つに従って、前記RF出力信号を変化させる制御モジュールと
を備える、RF発生器システム。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (24件)：
2G084AA02
, 2G084BB05
, 2G084CC05
, 2G084CC12
, 2G084CC13
, 2G084DD02
, 2G084DD03
, 2G084DD13
, 2G084DD15
, 2G084DD38
, 2G084DD55
, 2G084DD61
, 2G084HH05
, 2G084HH06
, 2G084HH08
, 2G084HH15
, 2G084HH20
, 2G084HH21
, 2G084HH22
, 2G084HH25
, 2G084HH27
, 2G084HH30
, 2G084HH43
, 2G084HH52
