特許
J-GLOBAL ID：201403054899756655

複数の無線周波数電力供給装置の周波数および位相の制御

発明者：
デイヴィッド・ジェイ・クーモウ

デイヴィッド・ジェイ・クーモウ について

, 
マイケル・エル・カーク

マイケル・エル・カーク について

, 
ダニエル・エム・ギル

ダニエル・エム・ギル について


出願人/特許権者：
エムケーエス インストゥルメンツ,インコーポレイテッド

エムケーエス インストゥルメンツ,インコーポレイテッド について


代理人 (4件)： 村山 靖彦 ,  志賀 正武 ,  渡邊 隆 ,  実広 信哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-091169
公開番号（公開出願番号）：特開2014-239029
出願日： 2014年04月25日
公開日（公表日）： 2014年12月18日
要約：
【課題】複数の無線周波数(RF)電力供給装置の周波数および位相の制御をするRF発生器を提供する。【解決手段】システムは、第1のRF発生器812aおよび第2のRF発生器812bを有する。第1のRF発生器812aは、第2のRF発生器812bの周波数を制御する。第1のRF発生器812aは、RF電力源840a、RFセンサ844a、およびセンサ信号処理ユニット842aを含む。センサ信号処理ユニット842aは、RF電力源840aおよびRFセンサ844aに結合される。センサ信号処理ユニット842aは、第2のRF発生器812bの周波数を制御するために第1のRF発生器812aの周波数をスケール(scale)する。【選択図】図8
請求項（抜粋）：
無線周波数(RF)発生器であって、 RF電力源と、 前記電力源に結合されるセンサと、 前記電力源および前記センサに結合されるセンサ信号処理ユニットとを含み、 前記センサ信号処理ユニットが、外部RF発生器源から入力を受け取り、前記RF発生器の位相および周波数を制御するための制御信号を発生させるように構成され、 前記外部RF発生器源からの前記入力は、前記外部RF発生器源が動作する周波数のスケールされたバージョンを含む、RF発生器。
IPC (2件)：
H05H 1/46 ,  H01L 21/306
FI (2件)：
H05H1/46 R ,  H01L21/302 101G
Fターム (5件)：
5F004AA16 ,  5F004BA04 ,  5F004BB11 ,  5F004CA03 ,  5F004CB05
引用特許：
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (7件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM