漏れ電流の存在下でイオン電流を判定するための差動電流測定

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：山本秀策 , 森下夏樹
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-534703
特許番号：特許第6228543号
出願日： 2012年10月04日
請求項（抜粋）：

【請求項1】イオンチャンバ内のイオン電流を判定するための方法であって、イオンチャンバの第1および第2の電極を第1の極性で電圧に結合するステップと、前記第1の極性で前記電圧によって生じた前記イオンチャンバの前記第1および第2の電極の間の第1の電流を判定するステップと、前記イオンチャンバの前記第1および第2の電極を第2の極性で前記電圧に結合するステップであって、前記第2の極性は、前記第1の極性と反対である、ステップと、前記第2の極性で前記電圧によって生じた前記イオンチャンバの前記第1および第2の電極の間の第2の電流を判定するステップと、前記第1および第2の電流の間の差異を判定するステップであって、前記差異は、前記イオンチャンバを通るイオン電流である、ステップとを含む、方法。

IPC (1件)：