特許
J-GLOBAL ID：201803010717409524
蒸着マスクの製造方法、蒸着マスク、および有機半導体素子の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
奥田 誠司
, 喜多 修市
, 山下 亮司
, 三宅 章子
, 村瀬 成康
, 北 倫子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-133226
公開番号（公開出願番号）：特開2018-165410
出願日： 2018年07月13日
公開日（公表日）： 2018年10月25日
要約：
【課題】高精細な蒸着パターンの形成に好適に用いられ得る蒸着マスクを提供する。【解決手段】 樹脂層(10)と、樹脂層(10)上に形成された磁性金属層(20)とを備えた蒸着マスク(100)の製造方法であって、(A)基板を用意する工程と、(B)基板の表面に樹脂材料を含む溶液または樹脂材料の前駆体溶液を付与した後、熱処理を行うことによって樹脂層を形成する工程と、(C)樹脂層(10)上に、金属膜が存在している中実部(20a(1))と金属膜が存在していない非中実部(20a(2))とを含むマスク部(20a)と、マスク部(20a)を包囲するように配置された周辺部(20b)とを有する磁性金属層(20)を形成する工程と、(D)樹脂層(10)におけるマスク部(20a)の非中実部に位置する領域に、複数の開口部(13)を形成する工程と、(E)工程(D)の後、基板から樹脂層(10)を剥離する工程とを包含する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
樹脂層と、前記樹脂層上に形成された磁性金属層とを備えた蒸着マスクであって、
前記磁性金属層は、金属膜が存在している中実部と金属膜が存在していない非中実部とを含むマスク部と、前記マスク部を包囲するように配置された周辺部とを有し、
前記蒸着マスクは、前記磁性金属層の前記周辺部に固定されたフレームをさらに備え、
前記樹脂層は、前記マスク部の前記非中実部に配置された複数の開口部を有し、前記フレームから、層面内方向の張力を受けていない、蒸着マスク。
IPC (3件)：
C23C 14/04
, H05B 33/10
, H01L 51/50
C23C14/04 A
, H05B33/10
, H05B33/14 A
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC35
, 3K107FF15
, 3K107FF17
, 3K107GG04
, 3K107GG28
, 3K107GG33
, 3K107GG54
, 4K029BA62
, 4K029BD01
, 4K029CA01
, 4K029CA15
, 4K029DB23
, 4K029HA02
, 4K029HA03
, 4K029HA04
出願人引用 (3件)
審査官引用 (2件)
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蒸着マスク
公報種別：公開公報
出願番号：特願2012-004485
出願人：大日本印刷株式会社
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成膜装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2008-007106
出願人：トッキ株式会社
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