特許
J-GLOBAL ID:201803010757086515

真空ポンプ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 江崎 光史 ,  鍛冶澤 實 ,  篠原 淳司 ,  中村 真介
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-082060
公開番号(公開出願番号):特開2018-184955
出願日: 2018年04月23日
公開日(公表日): 2018年11月22日
要約:
【課題】コンパクトなシール装置を有する真空装置を提供する。【解決手段】シール装置(21)が、ローター要素(27)を有し、このローター要素が、シャフト(13)と回転不能に接続されており、シール装置(21)が、第一のステーター要素(23)を有し、このステーター要素が、回転不能に配置されており、その際、第一のステーター要素(25)とローター要素(27)の間に、進入開口部を有する第一の間隙が形成されており、この進入開口部が、潤滑剤を含む空間の方に向かって開かれており、第一の間隙が、進入開口部と向かい合って退出開口部を有し、この退出開口部が、第一の膨張空間と接続されており、この第一の膨張空間が、第一の間隙よりも大きな断面積を有し、そしてローター要素(27)と第一のステーター要素(23)の壁部部分によって形成されており、そして、その際、第一の膨張空間が、潤滑剤サンプと接続している。【選択図】図1
請求項(抜粋):
真空装置、特に真空ポンプであって、潤滑剤の無い空間(19)及び潤滑剤を含む空間(17)を有し、並びに回転可能に支承されたシャフト(13)を有し、このシャフトが、少なくとも部分的に両方の空間(17,19)の内部に配置されており、その際、当該空間(17,19)の間にシール装置(21)が設けられており、このシール装置を通ってシャフト(13)が貫通しており、その際、シール装置(21)が、 ローター要素(27)を有し、このローター要素が、シャフト(13)と回転不能に接続されており、 シール装置(21)が、第一のステーター要素(23)を有し、このステーター要素が、回転不能に空間(17,19)の間に配置されており、 その際、第一のステーター要素(25)とローター要素(27)の間に、進入開口部(53)を有する第一の間隙(51)が形成されており、この進入開口部が、潤滑剤を含む空間(17)の方に向かって開かれており、 その際、第一の間隙(51)が、進入開口部(53)と向かい合って退出開口部(55)を有し、この退出開口部が、第一の膨張空間(57)と接続されており、この第一の膨張空間が、第一の間隙(51)よりも大きな断面積を有し、そしてローター要素(27)と第一のステーター要素(23)の壁部部分によって形成されており、そして、 その際、第一の膨張空間(57)が、潤滑剤サンプと接続していることを特徴とする真空装置。
IPC (2件):
F04C 27/02 ,  F16J 15/447
FI (2件):
F04C27/02 ,  F16J15/447
Fターム (6件):
3H129AA01 ,  3H129AB06 ,  3H129BB16 ,  3H129CC20 ,  3J042AA03 ,  3J042CA10
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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