特許

J-GLOBAL ID：201803011013345454

加工装置

発明者： 中村 勝
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (4件)： 小野 尚純 ,  奥貫 佐知子 ,  鹿角 剛二 ,  金子 吉文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-183217
公開番号（公開出願番号）：特開2018-049876
出願日： 2016年09月20日
公開日（公表日）： 2018年03月29日
要約：

【課題】比較的簡単な構成でウエーハのIDマークを読み取ることができる加工装置を提供する。【解決手段】加工装置2は、複数のデバイス64が分割予定ライン62によって区画されると共にIDマーク66が敷設されたウエーハ60を保持する保持手段6と、保持手段6に保持されたウエーハ60に加工を施す加工手段8と、保持手段6と加工手段8とを相対的に移動させる送り手段10と、保持手段6に保持されたウエーハ60の加工すべき領域を撮像する撮像手段12と、ホストコンピューター48に接続される制御手段14とを備える。制御手段14は、撮像手段12によって撮像されたウエーハ60のIDマーク66を画像処理する画像処理部50と、画像処理されたIDマーク66とホストコンピューター48に記憶されたIDマークとを照合し一致するIDマークを特定する照合部52と、特定されたIDマークに関連づけられてホストコンピューター48に記憶されたデバイスの特性を読み込む読み込み部54とを備える。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

複数のデバイスが分割予定ラインによって区画されると共にIDマークが敷設されたウエーハを保持する保持手段と、該保持手段に保持されたウエーハに加工を施す加工手段と、該保持手段と該加工手段とを相対的に移動させる送り手段と、該保持手段に保持されたウエーハの加工すべき領域を撮像する撮像手段と、ホストコンピューターに接続される制御手段と、を少なくとも備えた加工装置であって、 該制御手段は、該撮像手段によって撮像されたウエーハのIDマークを画像処理する画像処理部と、画像処理されたIDマークと該ホストコンピューターに記憶されたIDマークとを照合し一致するIDマークを特定する照合部と、特定されたIDマークに関連づけられて該ホストコンピューターに記憶されたデバイスの特性を読み込む読み込み部と、を少なくとも備えた加工装置。

IPC (1件)：

H01L 21/301

FI (1件)：

H01L21/78 C

Fターム (5件)：

5F063AA43 ,  5F063BA25 ,  5F063DD25 ,  5F063EE62 ,  5F063EE63

引用特許：

審査官引用 (1件)

• ウエーハの管理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-175388   出願人：株式会社ディスコ