特許

J-GLOBAL ID：201803011164800080

流体制御装置

発明者： 黄 哲威 ,  陳 世昌 ,  廖 家▲いく▼ ,  韓 永隆 ,  黄 ▲けい▼峰
出願人/特許権者： 研能科技股▲ふん▼有限公司
代理人 (1件)： 新保 斉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-000325
公開番号（公開出願番号）：特開2018-109408
出願日： 2018年01月04日
公開日（公表日）： 2018年07月12日
要約：

【課題】温度変化により生じる圧力一流量特性の変動を抑制する。【解決手段】流体制御装置は、圧電アクチュエータ2と殼体とコロイド5を含み、該圧電アクチュエータが懸架板21と外枠23と支持部24と圧電素子22を含み、該殼体が出口板と座体12を含み、該出口板が該圧電アクチュエータの設置に用いられ、該座体が入口板121と共振片122を含み、該入口板が外部に連通された合流チャンバ1213を備え、該共振片が該入口板上に設置されて固定されかつ中空孔1223を備え、該コロイドが該圧電アクチュエータの外枠と座体の共振片の間に設置され、該圧電アクチュエータと該座体の共振片の間に間隙を維持し、そのうち該懸架板は線膨張係数が該圧電素子の線膨張係数より小さい材料で形成され、かつ受熱変形時に湾曲を保持する硬度を有し、該懸架板と該共振片の線膨張係数の違いにより、該懸架板と該共振片の間の間隙に特定の変形変位量を維持させる。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

流体制御装置であって、圧電アクチュエータと、殼体と、コロイドと、を含み、 前記圧電アクチュエータが、 懸架板と、 前記懸架板の外側に周設された外枠と、 前記懸吊板と前記外枠の間を連接して設置された少なくとも1つの支持部と、 前記懸架板の辺の長さより大きくない辺の長さを備え、前記懸架板上に貼付される圧電素子と、を含み、 前記殼体が、出口板と、座体と、を含み、 前記出口板が、周縁に側壁と底部に板体を備え、収容空間を構成する枠体構造であり、前記圧電アクチュエータが前記収容空間内に設置され、 前記座体が入口板と共振片を含んで構成され、前記出口板の前記収容空間を覆い、前記圧電アクチュエータを封鎖し、前記入口板が外部に連通された合流チャンバを備え、前記共振片が前記入口板上に固定され、かつ前記入口板の前記合流チャンバに相対する中空孔を備え、 前記コロイドが前記圧電アクチュエータの前記外枠と前記座体の前記共振片の間に設置され、前記圧電アクチュエータと前記座体の前記共振片の間に間隙を維持し、 そのうち、前記懸架板が、線膨張係数が圧電素子の線膨張係数より小さい材料で形成され、かつ受熱変形時に湾曲を保持する硬度を有し、前記懸架板と前記共振片の線膨張係数の違いにより、前記懸架板と前記共振片の間の前記間隙に最大の性能と流量が得られる変形変位量を維持させることを特徴とする、流体制御装置。

IPC (2件)：

F04B 45/04 ,  F04B 45/047

FI (3件)：

F04B45/04 B ,  F04B45/047 C ,  F04B45/04 D

Fターム (9件)：

3H077AA11 ,  3H077CC02 ,  3H077CC09 ,  3H077DD06 ,  3H077EE02 ,  3H077EE05 ,  3H077FF04 ,  3H077FF08 ,  3H077FF36

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 流体制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-194429   出願人：株式会社村田製作所
• 流体制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-194430   出願人：株式会社村田製作所, オムロンヘルスケア株式会社

審査官引用 (1件)

• 流体制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-194429   出願人：株式会社村田製作所