流体制御装置

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：特許業務法人楓国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-194430
公開番号（公開出願番号）：特開2013-057247
出願日： 2011年09月06日
公開日（公表日）： 2013年03月28日
要約：

【課題】従来よりも流量を減少させることなく高い圧力を得ることができる、小型低背の流体制御装置を提供する。【解決手段】圧電ポンプ101は、振動板ユニット160と可撓板151と基板191とを備える。振動板ユニット160は、振動板141と枠板161と連結部162とによって構成される。振動板141の周囲には枠板161が設けられていて、動板141は3つの連結部162で枠板161に対して3点で柔軟に弾性支持されている。振動板141は、可撓板151の可動部154に対向する振動板141の領域から当該可動部154の方向へ突出する突出部143を有する。そして、可撓板151は振動板141に対向するよう枠板161に接合される。可撓板151は可動部154と固定部155とを有する。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

振動板と、前記振動板の一方の主面に設けられ、前記振動板を振動させる駆動体と、前記振動板の他方の主面に対向して設けられ、孔が設けられている板と、を備え、前記振動板および前記板の少なくとも一方は、前記孔と前記孔に対向する前記振動板の領域との間に位置し、前記孔と前記孔に対向する前記振動板の領域との中間の方向へ突出する突出部を有する、流体制御装置。

IPC (1件)：

F04B 43/04

FI (1件)：

F04B43/04 B

Fターム (10件)：

3H077AA12 , 3H077BB10 , 3H077CC02 , 3H077CC12 , 3H077DD06 , 3H077EE01 , 3H077EE36 , 3H077FF07 , 3H077FF09 , 3H077FF44

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平4-194380
マイクロポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-185793 出願人：本田技研工業株式会社
ダイヤフラムポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-014732 出願人：スター精密株式会社

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