特許

J-GLOBAL ID：201803011550128273

走査プローブ顕微鏡のプローブを受け入れるためのプローブシステム及び方法

発明者： バウアー クリストフ ,  リューム シルヴィオ ,  バラリア ガブリエル ,  ポール クリストフ ,  ハーナス ビョルン ,  ヴェーバー マティアス
出願人/特許権者： カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
代理人 (9件)： 田中 伸一郎 ,  弟子丸 健 ,  ▲吉▼田 和彦 ,  大塚 文昭 ,  西島 孝喜 ,  須田 洋之 ,  上杉 浩 ,  近藤 直樹 ,  大浦 博司
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-563108
公開番号（公開出願番号）：特表2018-516373
出願日： 2016年06月02日
公開日（公表日）： 2018年06月21日
要約：

本発明は、(a)プローブ(170、870、1470、1570、2270)のためのレセプタクル装置(110、2110)を有し、(b)走査プローブ顕微鏡のための少なくとも1つのプローブ(170、870、1470、1570、2270)を供給するプローブストレージ(120)を有する走査プローブ顕微鏡のためのプローブシステム(100)に関するものであり、(c)プローブ(170、870、470、1570、2270)、プローブストレージ(120)、及びレセプタクル装置(110、2110)は、プローブ(170、1470、1570、2270)がプローブストレージ(120)との解除可能な第1の接続(215、415、815)とレセプタクル装置(110、2110)との解除可能な第2の接続(565)とを形成することができ、第1の接続及び/又は第2の接続が磁力を使用するように具現化され、レセプタクル装置(110、2110)及びプローブストレージ(120)は、プローブ(170、870、1470、1570、2270)の受け入れに関して第1の接続(215、415、815)が解除される前にプローブ(170、1470、1570、2270)が第2の接続(565)を形成するように互いに対して動くことができる。【選択図】図19

請求項（抜粋）：

走査プローブ顕微鏡のためのプローブシステム(100)であって、 a.プローブ(170、870、1470、1570、2270)のためのレセプタクル装置(110、2110)と、 b.前記走査プローブ顕微鏡のための少なくとも1つのプローブ(170、870、1470、1570、2270)を供給するプローブストレージ(120)と、 を有し、 c.前記プローブ(170、870、1470、1570、2270)、前記プローブストレージ(120)、及び前記レセプタクル装置(110、2110)は、該プローブ(170、870、1470、1570、2270)が、該プローブストレージ(120)との解除可能な第1の接続(215、415、815)と該レセプタクル装置(110、2110)との解除可能な第2の接続(565)とを形成することができ、該第1の接続(215、415)及び/又は該第2の接続(565)が磁力を使用するように具現化され、 d.前記レセプタクル装置(110、2110)及び前記プローブストレージ(120)は、前記プローブ(170、870、1470、1570、2270)の受け入れに関して前記第1の接続(215、415、815)が解除される前に該プローブ(170、870、1470、1570、2270)が前記第2の接続(565)を形成するように互いに対して動くことができる、 ことを特徴とするプローブシステム(100)。

IPC (1件)：

G01Q 30/00

FI (1件)：

G01Q30/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特許第8099793号
  
• 原子間力顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-338780   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• プローブ顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-067130   出願人：セイコー電子工業株式会社