特許
J-GLOBAL ID：201803012056271531
基板引張装置、成膜装置、膜の製造方法及び有機電子デバイスの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
吉井 剛
, 吉井 雅栄
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-174760
公開番号（公開出願番号）：特開2017-066517
特許番号：特許第6276816号
出願日： 2016年09月07日
公開日（公表日）： 2017年04月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 互いに対向する一対のクランプ機構が備えられた基板引張装置であって、
前記クランプ機構には、基板を上下から挟む把持部が複数備えられ、
前記把持部ごとに前記基板を把持するための押圧力及び前記基板を外方側に引張るための引張力を前記把持部に伝達する駆動手段が備えられ、
この駆動手段は、前記把持部により前記基板の対向する一対の辺部を夫々把持した状態で、対向する前記把持部を互いに離間させることで前記基板を外方側に引張るように構成されており、
前記クランプ機構には、前記把持部ごとに備える前記駆動手段の夫々の押圧力及び引張力を、駆動手段ごとに夫々個別に調整することが可能な個別調整手段が備えられていることを特徴とする基板引張装置。
IPC (5件)：
C23C 14/50 ( 200 6.01)
, C23C 14/04 ( 200 6.01)
, H01L 21/677 ( 200 6.01)
, H01L 51/50 ( 200 6.01)
, H05B 33/10 ( 200 6.01)
C23C 14/50 D
, C23C 14/04 A
, H01L 21/68 A
, H05B 33/14 A
, H05B 33/10
