3D-MEMS光スイッチ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：佐伯義文 , 木内敬二
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-515603
特許番号：特許第6240316号
出願日： 2013年10月17日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 3次元微小電気機械システム(3D-MEMS)光スイッチであって、コリメータアレイと、パワー検出器(PD)アレイと、前記PDアレイを覆う、反射膜で部分的に被膜されたウィンドウガラスと、微小電気機械システム(MEMS)マイクロミラーと、前記PDアレイおよび前記MEMSマイクロミラーに接続されたコア光スイッチコントローラとを含み、前記PDアレイを覆う、前記反射膜で部分的に被膜された前記ウィンドウガラスは、前記コリメータアレイから光信号を取得し、前記コリメータアレイから取得される前記光信号を前記MEMSマイクロミラー上に部分的に反射し、前記コリメータアレイから取得される前記光信号を前記PDアレイ上に部分的に伝送するように構成され、前記MEMSマイクロミラーによって反射される光信号を取得し、前記MEMSマイクロミラーによって反射される前記光信号を前記コリメータアレイ上に部分的に反射し、前記MEMSマイクロミラーによって反射される前記光信号を前記PDアレイ上に部分的に伝送するようにさらに構成され、前記PDアレイは、前記PDアレイ上に伝送される前記光信号の光パワーを検出するように構成され、前記コア光スイッチコントローラは、前記3D-MEMS光スイッチの挿入損失を所定の目標減衰値に合致させるように、前記PDアレイ上に伝送される前記光信号の検出される前記光パワーに基づいて前記MEMSマイクロミラーを調整するように構成される、3D-MEMS光スイッチ。

IPC (3件)：

G02B 26/08 ( 200 6.01) , G02B 6/35 ( 200 6.01) , H04B 10/25 ( 201 3.01)

FI (3件)：

G02B 26/08 E , G02B 6/35 , H04B 10/25

引用特許：

審査官引用 (4件)

光信号交換器の制御装置および制御方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-198936 出願人：富士通株式会社
光ファイバスイッチの校正および制御用光学系
公報種別：公表公報出願番号：特願2003-558567 出願人：インテル・コーポレーション
光通信ネットワークの3次元モジュラクロスコネクトシステム
公報種別：公表公報出願番号：特願2003-509819 出願人：マルコニコミュニケイションズソシエタペルアチオニ

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