真空ポンプ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人クシブチ国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-216936
公開番号（公開出願番号）：特開2017-061937
特許番号：特許第6297119号
出願日： 2016年11月07日
公開日（公表日）： 2017年03月30日
請求項（抜粋）：

【請求項1】モータで駆動される回転圧縮要素をケーシング内に備えた真空ポンプにおいて、前記ケーシングは、前記回転圧縮要素の回転軸方向における前記ケーシングの一端に開口する穴部を備え、この穴部は開口端から奥側に向けて縮径する段付穴であり、前記ケーシングは、前記回転圧縮要素が摺動し前記段付穴の段部に当接されるシリンダライナを備えていることを特徴とする真空ポンプ。

IPC (3件)：